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雙光束激光干涉儀

aixACCT Systems已將*的雙光束技術(shù)擴(kuò)展到可商用的雙光束激光干涉儀系統(tǒng)，以進(jìn)行長(zhǎng)達(dá)8英寸的晶圓表征。

用于測(cè)量d 33的雙光束激光干涉儀（aixDBLI）提供經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的精度（x切割石英），max可達(dá)0.2 pm / V。該系統(tǒng)的主要特點(diǎn)是單次測(cè)量的采集時(shí)間僅為幾秒鐘?；谛碌臄?shù)據(jù)采集算法，測(cè)量速度提高了100倍。這使得 比較了以相同激發(fā)頻率記錄的薄膜的電氣和機(jī)械數(shù)據(jù)。由于差分測(cè)量原理，消除了樣品彎曲的影響，這是使用原子力顯微鏡（AFM）進(jìn)行此類(lèi)測(cè)量的主要障礙。

測(cè)量:

-機(jī)電大信號(hào)應(yīng)變和極化測(cè)量。

-壓電小信號(hào)系數(shù)和介電常數(shù)與直流偏置電壓的關(guān)系。如果剛度值已知，則可以使用附加的aixPlorer軟件工具從這些值得出耦合系數(shù)。

-電氣和機(jī)電性能疲勞。

aixDBLI系統(tǒng)的*性能使其適用于6“晶片上的MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）設(shè)備的壓電和電氣可靠性測(cè)試。該系統(tǒng)的 分辨率和可重復(fù)性?xún)?yōu)于2％，可大規(guī)模生產(chǎn)。整個(gè)裝置包括位于減振室內(nèi)的光學(xué)組件，TF Analyzer 2000和一些附加的模擬電路。

技術(shù)數(shù)據(jù):

-解析度:1 pm經(jīng)過(guò)x-cut Quartz測(cè)試

-位移/應(yīng)變測(cè)量:50 Hz-5 kHz

               100 mV至10 V

 至25 V（可選）

-壓電d 33系數(shù)：

偏壓  ：（1 mHz至1 Hz）

         100 mV至10 V

         至25 V（可選）

小信號(hào)：（1 kHz至10 kHz）

          100 mV至10 V

-電致伸縮M 33：類(lèi)似于d 33

-C（V）測(cè)量:

偏壓  ：（1 mHz至1 Hz）

          100 mV至10 V

          至25 V（可選）

小信號(hào)：（1 kHz至10 kHz）

          100 mV至10 V