光學(xué)輪廓儀是一款便捷的、準(zhǔn)確的、實(shí)用的非接觸三維形貌測量系統(tǒng)。作為第九代系統(tǒng)，它采用已申請專利的雙光源照明技術(shù)，同時(shí)實(shí)現(xiàn)了對(duì)超光滑表面和粗糙表面進(jìn)行非接觸表征，應(yīng)用范圍涵蓋了亞納米量級(jí)粗糙度測量到毫米尺度臺(tái)階高度測量，可滿足研發(fā)、磨損分析、失效分析及工藝控制等領(lǐng)域的需求。
它具有許多和大型機(jī)臺(tái)一樣的優(yōu)點(diǎn)，包括：測量設(shè)置簡單易學(xué)，高速數(shù)據(jù)采集能力，強(qiáng)大的數(shù)據(jù)分析能力以及0.1納米量級(jí)的測試重復(fù)精度。
光學(xué)輪廓儀主要功能：
1、多焦面疊加
多焦面疊加技術(shù)是用來測量非常粗糙的表面形貌。根據(jù)Sensofar在共聚焦和干涉技術(shù)融合應(yīng)用方面的豐富經(jīng)驗(yàn)，特別設(shè)計(jì)了此功能來補(bǔ)足低倍共聚焦測量的需要。該技術(shù)的亮點(diǎn)是快速(mm/s)、掃描范圍大和支援斜率大(86°)。此功能對(duì)工件和模具測量特別有用。
2、薄膜測量
用分光反射計(jì)可以完善地解決薄膜厚度測量。S neox 在增加了分光反射計(jì)后可以測量10nm的膜厚和10層膜。由于是通過顯微鏡頭測量，較小的測量點(diǎn)為5um。因?yàn)橄到y(tǒng)里有組合的LED光源，所以實(shí)時(shí)觀察和膜厚測量能同時(shí)進(jìn)行。
3、共聚焦
共聚焦技術(shù)可以用來測量各類樣品表面的形貌。它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達(dá)0.10um。利用它可實(shí)現(xiàn)臨界尺寸的測量。當(dāng)用150倍、0.95數(shù)值孔徑的鏡頭時(shí)，共聚焦在光滑表面測量斜率達(dá)70°(粗糙表面達(dá)86°)。專利的共聚焦算法保證Z軸測量重復(fù)性在納米范疇。
4、干涉
相位差干涉 (PSI)
相位差干涉是一種亞納米級(jí)精度的用于測量光滑表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢在于任何放大倍數(shù)都可以保證亞納米級(jí)的縱向分辨率。使用2.5倍的鏡頭就能實(shí)現(xiàn)縱向分辨率的大視場測量。
白光干涉 (VSI)
白光干涉是一種納米級(jí)測量精度的用于測量各種表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢在于任何放大倍數(shù)都可以保證納米級(jí)的縱向分辨率。
光學(xué)輪廓儀各方面優(yōu)勢：
1、簡單易用：只需將樣品放置于樣品臺(tái)上，即可直接進(jìn)行測量；
2、無需更換耗材：只需要一個(gè)LED光源，無需其他配件更換；
3、價(jià)格優(yōu)勢：市場上具性價(jià)比的白光干涉輪廓儀，具有價(jià)格優(yōu)勢的高精度輪廓儀。
4、快速測量大面積區(qū)域：測量范圍為毫米級(jí)別，配置XY樣品臺(tái)達(dá)100mm*100mm，可實(shí)現(xiàn)大面積樣品的輕松測量；
5、可視化3D功能：Profilm 3D輪廓儀具有強(qiáng)大的處理軟件，軟件除包括表面粗糙度，形狀和臺(tái)階高度的測量外，還可以任意角度移動(dòng)樣品量測三維圖形，多角度分析樣品圖像。
6、可以測量非接觸式非平坦樣品：由于光學(xué)輪廓測量法是一種非接觸式技術(shù)，可以輕松測量彎曲和其他非平面表面。還輕松地測量曲面的表面光潔度，紋理和粗糙度。除此之外，作為一種非接觸式方法光學(xué)輪廓儀不會(huì)像探針式輪廓儀那樣損壞柔軟的薄膜。
光學(xué)輪廓儀適用于各類樣品：如各類金屬、非晶硅和多晶硅、陶瓷材料、電介質(zhì)、硬質(zhì)涂層、高分子聚合物、光刻膠等的表面輪廓及粗糙度等測量。
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