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德國(guó)ATL Lasertechnik準(zhǔn)分子激光器 原理介紹

來(lái)源:天津瑞利光電科技有限公司   2021年12月14日 10:27  

產(chǎn)品型號(hào):ATLEX-500-I

關(guān)鍵字:ATL Lasertechnik準(zhǔn)分子激光器ATLEX-500-I

關(guān)鍵字描述:ATLEX-S系列激光是一種非常緊湊的紫外光源,專為中低占空比應(yīng)用而設(shè)計(jì)。

產(chǎn)品介紹:

軟電暈預(yù)電離

高壓固態(tài)脈沖發(fā)生器

激光頭體積<3l

TMC(全金屬陶瓷)容器

集成真空泵和鹵素過(guò)濾器

風(fēng)冷/可選液冷,主動(dòng)熱管理

RS-485,RS232,USB和光纖接口,用于系統(tǒng)集成

可沖洗光學(xué)支架

能量穩(wěn)定模式

新一代緊湊型風(fēng)冷,高重復(fù)頻率的準(zhǔn)分子激光器,專為中低占空比應(yīng)用而設(shè)計(jì)。

參數(shù):

氣體介質(zhì)

F2

ArF

KrF

XeCl

XeF

波長(zhǎng) nm

157

193

248

308

351

高壓開(kāi)關(guān)技術(shù)

固態(tài)開(kāi)關(guān)

重復(fù)率max. Hz

1

10

15

8

7

脈沖能量max. mJ

0.5

4.0

6.5

3.0

2.5

平均功率max. W

500

脈沖持續(xù)時(shí)間 ns

5-8

光束尺寸(V x H) mm

4 x 6

光束發(fā)散角(V x H)mrad

1 x 2

能量穩(wěn)定性(標(biāo)準(zhǔn)偏差)%

< 3

尺寸(長(zhǎng)x寬x高)mm

540 x 470 x 370

重量 kg

60

冷卻

冷卻空氣/可選液體

電源要求

230 VAC / 6,3 A / 1相/ 50-60 Hz


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