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質(zhì)譜儀又稱質(zhì)譜計。分離和檢測不同同位素的儀器。即根據(jù)帶電粒子在電磁場中能夠偏轉(zhuǎn)的原理，按物質(zhì)原子、分子或分子碎片的質(zhì)量差異進行分離和檢測物質(zhì)組成的一類儀器。

同位素質(zhì)譜儀

同位素質(zhì)譜分析法的特點是測試速度快，結(jié)果精確，樣品用量少（微克量級）。能精確測定元素的同位素比值。廣泛用于核科學(xué)，地質(zhì)年代測定，同位素稀釋質(zhì)譜分析，同位素示蹤分析。

離子探針

離子探針是用聚焦的一次離子束作為微探針轟擊樣品表面，測射出原子及分子的二次離子，在磁場中按質(zhì)荷比（m/e）分開，可獲得材料微區(qū)質(zhì)譜圖譜及離子圖像，再通過分析計算求得元素的定性和定量信息。測試前對不同種類的樣品須作不同制備，離子探針兼有電子探針、火花型質(zhì)譜儀的特點?？梢蕴綔y電子探針顯微分析方法檢測極限以下的微量元素，研究其局部分布和偏析?？梢宰鳛橥凰胤治??？梢苑治鰳O薄表面層和表面吸附物，表面分析時可以進行縱向的濃度分析。成像離子探針適用于許多不同類型的樣品分析，包括金屬樣品、半導(dǎo)體器件、非導(dǎo)體樣品，如高聚物和玻璃產(chǎn)品等。廣泛應(yīng)用于金屬、半導(dǎo)體、催化劑、表面、薄膜等領(lǐng)域中以及環(huán)保科學(xué)、空間科學(xué)和生物化學(xué)等研究部門。