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S54系列是具有中心通孔，二維θxθy軸方向運(yùn)動的壓電偏擺臺，內(nèi)部柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)采用有限元分析優(yōu)化，使其角度偏移小，響應(yīng)速度快。采用壓電陶瓷驅(qū)動實(shí)現(xiàn)偏轉(zhuǎn)范圍達(dá)±1mrad，分辨率可達(dá)0.05μrad，可選擇配置閉環(huán)傳感器實(shí)現(xiàn)0.1%F.S.的重復(fù)定位精度。

S54的臺體非常薄，厚度僅為20mm，80×80mm的中心通孔使其非常適用于亞微弧度精密光束調(diào)整、計(jì)量、定位等應(yīng)用。

特點(diǎn)

• θx、θy偏擺運(yùn)動

• 開環(huán)/閉環(huán)可供選擇

• 80×80mm通孔

• 分辨率高

• 適于加速度/角速度傳感器標(biāo)定

電壓位移曲線

應(yīng)用

S54系列壓電偏擺臺以其超薄的外形、高精度的偏轉(zhuǎn)已批量應(yīng)用于激光合束等應(yīng)用。

技術(shù)參數(shù)

型號：S54.T2

運(yùn)動自由度：θx、θy

偏擺角度(0~120V)：±0.8mrad/軸（≈±165”）

偏擺角度(0~150V)：±1mrad/軸（≈±200”）

閉環(huán)傳感器：SGS

閉/開環(huán)分辨率：0.25μrad（≈0.05”）/0.05μrad（≈0.01”）

閉環(huán)線性度：0.2%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.1%F.S.

推/拉力：40/8N

運(yùn)動方向剛度：0.5N/μm

空載諧振頻率：X450/Y400Hz

閉/開環(huán)空載階躍時間：20/3.5ms

閉環(huán)工作頻率（-3dB）：110Hz（空載）

承載能力：1 kg

工作溫度范圍：-20~80℃

靜電容量：3.6μF/軸

材質(zhì)：鋁、鋼

重量：510g

出線長：1.5m