XD603系列壓電納米定位臺是一維X向運動壓電平臺，平臺采用抗振動設(shè)計，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，具有分辨率高、行程大等特點。

特性

一維X軸運動

行程范圍可達(dá)±165μm

抗振動設(shè)計

高低溫版本

閉環(huán)精度高

大行程、高可靠性、高穩(wěn)定性

XD603為壓電陶瓷驅(qū)動、高可靠性壓電納米定位臺，可以實現(xiàn)±165μm的位移行程，優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計具有無摩擦、導(dǎo)向精度高等特點。

閉環(huán)版本內(nèi)部配有高分辨率及快速響應(yīng)的應(yīng)變傳感器（SGS），配備在驅(qū)動機(jī)構(gòu)的合適位置，它可向控制器反饋高帶寬、高精度的電壓信號。與E70系列控制器配套使用，具有高穩(wěn)定性。

技術(shù)參數(shù)

型號：XD603

運動自由度：X

行程范圍（0~120V）：±130μm

行程范圍（0~150V）：±165μm

閉環(huán)傳感器：SGS

閉/開環(huán)分辨率：12/5nm

閉環(huán)線性度：0.1%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.04%F.S.

俯仰/偏航/滾動：1μrad

推/拉力：300/30N

運動方向剛度：1.2N/μm

空載諧振頻率：490Hz

閉/開環(huán)空載階躍時間：80/40ms

承載能力：0.6kg

靜電容量：24.6μF

工作溫度：-40~+80℃

抗振設(shè)計：半正弦15g，11ms

后峰鋸齒波20g，11ms

材質(zhì)：鋼、鋁

重量：950g

推薦控制器

XD603系列壓電位移臺，可搭配芯明天E70系列壓電控制器使用，模擬與數(shù)字控制，體積小巧，高性能搭配。