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疊堆型壓電陶瓷又被稱為壓電致動(dòng)器、壓電執(zhí)行器、壓電促動(dòng)器等。疊堆型壓電陶瓷是將壓電陶瓷基片,通過(guò)疊層粘結(jié)共燒工藝形成的(單層壓電陶瓷基片的厚度為100μm左右),這種工藝制備的壓電陶瓷可以承受很大的壓力,剛度大,但所承受的拉力有限。
疊堆型壓電陶瓷包括大量的陶瓷薄片。其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)是供電電極被設(shè)計(jì)在陶瓷薄片的兩側(cè),陶瓷整個(gè)截面積均可參加致動(dòng),出力很大,性能可以完好展現(xiàn),而且不存在局部電場(chǎng)變形,不易出現(xiàn)點(diǎn)應(yīng)力。圖2.1展示了一個(gè)由PZT(鋯鈦酸鉛)陶瓷層疊堆形成的壓電陶瓷,多層陶瓷薄片連接形成了多層電容器結(jié)構(gòu)。對(duì)陶瓷施加電壓后,壓電陶瓷在Z軸方向會(huì)做伸長(zhǎng)運(yùn)動(dòng)(伸長(zhǎng)量的大典型值是陶瓷長(zhǎng)度的0.1%-0.2%)。出力是通過(guò)上下端面輸出給外部機(jī)械結(jié)構(gòu)的。
圖2.1
壓電陶瓷逆壓電效應(yīng)的大位移,取決于所加電場(chǎng)強(qiáng)度和陶瓷材料的磁化飽和度。陶瓷的擊穿電壓限制了大電場(chǎng)強(qiáng)度。對(duì)應(yīng)使用不同厚度的單層陶瓷基片,場(chǎng)強(qiáng)值可對(duì)應(yīng)不同的電壓值。而對(duì)于更小厚度的薄片,大電壓會(huì)有所降低?,F(xiàn)在疊堆型壓電陶瓷組成陶瓷薄片的厚度一般為100μm,典型的使用電壓為150V。
2疊堆型壓電陶瓷的分類
疊堆型壓電陶瓷分為低壓和高壓兩種類型,這兩種類型陶瓷的生產(chǎn)工藝是*不同的:
●低電壓壓電陶瓷的電壓使用范圍為0-150V,陶瓷層及內(nèi)部的金屬電極層在高溫?zé)Y(jié)之前被層疊在一起,然后進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)。內(nèi)部電極是非常薄的金屬膜(厚度約1μm)。這種制作陶瓷的工藝通常被稱為“單片共燒工藝”。
●高電壓壓電陶瓷的電壓使用范圍為0~500V或1000 V,在疊堆前就已經(jīng)*燒結(jié)并制成PZT板/片。插入電極是由單獨(dú)的薄金屬箔制成。整個(gè)結(jié)構(gòu)用一種特殊的高品質(zhì)膠粘劑來(lái)固定在一起。因此,高壓疊堆陶瓷不是一個(gè)整塊陶瓷,而是一種復(fù)合材料。
3疊堆型壓電陶瓷使用的注意事項(xiàng)
由于疊堆型壓電陶瓷是將壓電陶瓷薄片,通過(guò)疊層粘結(jié)共燒工藝形成的,這種工藝特點(diǎn)使得其抗壓強(qiáng)度遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于其拉伸強(qiáng)度。
當(dāng)陶瓷動(dòng)態(tài)應(yīng)用時(shí),由于陶瓷材料本身的加速度,壓縮力和拉伸力同時(shí)產(chǎn)生。 為了避免損壞壓電陶瓷,可以采用給陶瓷加預(yù)載力的方式來(lái)保護(hù)陶瓷,一般情況下,預(yù)載力的大小為大負(fù)載的十分之一。
以下情況下,建議使用有預(yù)載力的致動(dòng)器:
壓電陶瓷不能承受剪切力、側(cè)向力以及扭轉(zhuǎn)力。加載于陶瓷移動(dòng)端的力應(yīng)盡量作用于陶瓷運(yùn)動(dòng)方向的中心。陶瓷的四周應(yīng)盡量保持不受夾持。
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