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超精密加工是實(shí)現(xiàn)納米加工的有效方式，其中壓電快速刀具伺服系統(tǒng)是超精密加工中的核心器件，快速刀具定位臺(tái)帶動(dòng)車刀或其他刀具微納米級(jí)進(jìn)給，在工件表面進(jìn)行加工。此外也可加工各種回轉(zhuǎn)表面，如內(nèi)圓柱面、內(nèi)外圓錐面、螺紋、溝槽、端面和成型面等。

FTS20 系列快速刀具定位臺(tái)是專為超精密車削而設(shè)計(jì)的快速刀具微進(jìn)給平臺(tái)，它采用直驅(qū)式驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，承載力大、頻率高，且采用電容式閉環(huán)傳感器，具有納米級(jí)定位精度。

特點(diǎn)

•行程范圍18μm

•滿行程下，使用頻率可達(dá)95Hz

•負(fù)載能力300g

高剛度

快速刀具定位臺(tái)采用大出力壓電陶瓷，同時(shí)臺(tái)體材料采用不銹鋼材質(zhì)以確保加工過程中的穩(wěn)定性，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠，加工精度不會(huì)因顫動(dòng)而受影響。

技術(shù)參數(shù)型號(hào)：FTS20

行程：18μm@95Hz

9μm@190Hz

1μm@600Hz

傳感器：SGS

線性度：0.1%F.S.

重復(fù)定位精度：15nm

負(fù)載：300g

剛度：120N/μm

空載諧振頻率：4000Hz

驅(qū)動(dòng)電壓范圍：0~150V

外形尺寸：L110×W95×H42mm

重量：2100g

工作溫度：-20~80℃

出線長：1.5m