P73.Z200大行程壓電物鏡定位器

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來源：哈爾濱芯明天科技有限公司 2020年11月30日 10:13

典型應(yīng)用

• 三維成像

• 干涉/計量

• 表面結(jié)構(gòu)分析

• 共焦顯微

高穩(wěn)定性、長使用壽命

P73.Z200壓電物鏡定位器體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊、性價比高，可以與市面上很多規(guī)格型號的顯微物鏡配套。物鏡定位器內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，與優(yōu)異的機械結(jié)構(gòu)相結(jié)合，具有穩(wěn)定性好、使用壽命長等優(yōu)點。

應(yīng)用分析實例

技術(shù)參數(shù)

型號：P73.Z200

運動自由度：Z

行程范圍（0~120V）：160μm

行程范圍（0~150V）：200μm

閉環(huán)傳感器類型：SGS

閉/開環(huán)分辨率：11/5nm

閉環(huán)線性度：0.1%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.05%F.S.

推/拉力：80/10N

運動方向剛度：0.25N/μm

空載諧振頻率：210Hz

閉/開環(huán)空載階躍時間：20/10ms

承載能力：0.2kg

靜電容量：7.2μF

材質(zhì)：鋼、鋁

重量：360g

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