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芯片光刻機(jī)上用的除塵設(shè)備

上海今鈞機(jī)電工程有限公司

我們上海今鈞機(jī)電是一家集機(jī)、電、軟件于一體的技術(shù)型企業(yè)，我們公司致力于自動(dòng)化表面清潔技術(shù)、靜電消除技術(shù)，解決生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的灰塵顆粒木屑雜物等，是一家能夠擁有銷售、設(shè)計(jì)以及生產(chǎn)管理的綜合技術(shù)服務(wù)型企業(yè)。公司在 申有多項(xiàng)技術(shù)產(chǎn)權(quán)。

公司有行業(yè)經(jīng)驗(yàn)豐富的技術(shù)人才團(tuán)隊(duì)，可以為國(guó)內(nèi)各行企業(yè)提供行業(yè)設(shè)備及系統(tǒng)服務(wù)工程。

詳情介紹

芯片光刻機(jī)是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術(shù)，把掩膜版上的精細(xì)圖形通過光線的曝光印制到硅片上。制造高精度的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)需要具有近乎完美的精密機(jī)械工藝。

的投影式光刻機(jī)可分為步進(jìn)投影和掃描投影光刻機(jī)兩種，分辨率通常5納米至幾微米之間。光刻機(jī)堪稱現(xiàn)代光學(xué)工業(yè)之花，其制造難度之大，*只有少數(shù)幾家公司能夠制造。這也是國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)*的技術(shù)難點(diǎn)之一。

影響光刻機(jī)精度的原因有很多，比如間隙零件精度都有很大關(guān)系，其中容易被忽略的一個(gè)原因還有光刻機(jī)表面清潔原因，光刻機(jī)上有切割掉的碎屑或灰塵都會(huì)影響芯片切割的精度,所以光刻機(jī)上面需要增加除塵設(shè)備來保證切割的精度！

芯片光刻機(jī)上用的除塵設(shè)備介紹

此設(shè)備是上海今鈞設(shè)計(jì)研發(fā)的一款可以安裝在光刻機(jī)上的除塵設(shè)備，我公司與國(guó)內(nèi)多家半導(dǎo)體公司有合作經(jīng)驗(yàn)，成功在多種規(guī)格的光刻機(jī)上得到應(yīng)用，受到客戶*。我公司常用兩種除塵設(shè)備應(yīng)用于光刻機(jī)上下面簡(jiǎn)單介紹一下。

種：毛刷清潔靜電消除吸塵設(shè)備，此設(shè)備的工作原理為靜電棒消除靜電減少靜電吸附力，毛刷清潔刷除灰塵和顆粒，再經(jīng)過高負(fù)壓工業(yè)吸塵機(jī)把灰塵顆粒吸到集塵箱，操作完成！

第二種：強(qiáng)吹靜電除塵設(shè)備：此設(shè)備工作原理為先靜電消除再通過高速旋轉(zhuǎn)噴頭把灰塵顆粒吹除并揚(yáng)起，再使用高負(fù)壓工業(yè)吸塵機(jī)把灰塵顆粒吸到集塵箱，操作完成！

在售部分產(chǎn)品

臥室高負(fù)壓吸塵集塵機(jī)

立式吸塵集塵機(jī)

智能吸塵集塵機(jī)

強(qiáng)吹靜電除塵機(jī)

旋風(fēng)靜電除塵機(jī)

產(chǎn)品除塵設(shè)備

在線式除塵設(shè)備

清潔除塵專機(jī)

流水線式除塵設(shè)備

靜電消除棒

強(qiáng)吹除塵噴頭等產(chǎn)品