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雙光束激光干涉儀
aixACCT Systems已將*的雙光束技術(shù)擴展到可商用的雙光束激光干涉儀系統(tǒng),以進行長達8英寸的晶圓表征。
用于測量d 33的雙光束激光干涉儀(aixDBLI)提供經(jīng)過驗證的精度(x切割石英),max可達0.2 pm / V。該系統(tǒng)的主要特點是單次測量的采集時間僅為幾秒鐘。基于新的數(shù)據(jù)采集算法,測量速度提高了100倍。這使得 比較了以相同激發(fā)頻率記錄的薄膜的電氣和機械數(shù)據(jù)。由于差分測量原理,消除了樣品彎曲的影響,這是使用原子力顯微鏡(AFM)進行此類測量的主要障礙。
測量:
-機電大信號應變和極化測量。
-壓電小信號系數(shù)和介電常數(shù)與直流偏置電壓的關(guān)系。如果剛度值已知,則可以使用附加的aixPlorer軟件工具從這些值得出耦合系數(shù)。
-電氣和機電性能疲勞。
aixDBLI系統(tǒng)的*性能使其適用于6“晶片上的MEMS(微機電系統(tǒng))設備的壓電和電氣可靠性測試。該系統(tǒng)的 分辨率和可重復性優(yōu)于2%,可大規(guī)模生產(chǎn)。整個裝置包括位于減振室內(nèi)的光學組件,TF Analyzer 2000和一些附加的模擬電路。
技術(shù)數(shù)據(jù):
-解析度:1 pm經(jīng)過x-cut Quartz測試
-位移/應變測量:50 Hz-5 kHz
100 mV至10 V
至25 V(可選)
-壓電d 33系數(shù):
偏壓 :(1 mHz至1 Hz)
100 mV至10 V
至25 V(可選)
小信號:(1 kHz至10 kHz)
100 mV至10 V
-電致伸縮M 33:類似于d 33
-C(V)測量:
偏壓 :(1 mHz至1 Hz)
100 mV至10 V
至25 V(可選)
小信號:(1 kHz至10 kHz)
100 mV至10 V
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