Alicat流量計與流量控制器是基于層流壓差式原理進行測量的，內(nèi)置溫度、絕壓、差壓傳感器和多種氣體的粘度數(shù)據(jù)，切換到對應(yīng)的氣體模式后，可測量不同氣體的溫度、壓力、（工況）體積流量、（標(biāo)況）質(zhì)量流量和累計流量等多種參數(shù)。

Alicat流量計的傳感器典型響應(yīng)時間可快至10ms，測量范圍0.5%-F.S，部分型號測量下限可低至0.01%F.S。精度一般為±（0.8%Rdg+0.2%F.S.），部分型號可達到±（0.5%Rdg或0.1%F.S.）。

如果流量計或控制器很長時間未校準(zhǔn)，你可能會擔(dān)心它的精度的問題。我們建議將流量計或控制器寄回給Alicat售后服務(wù)中心進行年度校準(zhǔn)，以保持較高的精度。當(dāng)然你也可以選擇其他方法檢驗它的精度是否超差。

大部分客戶會將流量計返回給我們校準(zhǔn)，一部分客戶會將流量計送至計量院進行精度鑒定，也有客戶將多個流量計串聯(lián)后進行讀數(shù)對比。

無論采用哪種方式，其基本的方法都是將被檢流量計與另一個量程接近、精度更高、值得信任的參照流量計或流量控制器串聯(lián)，然后通入空氣或氮氣，在量程范圍內(nèi)控制不同流量大小，觀察兩個流量計的讀數(shù)是否一致。如果讀數(shù)很一致，說明被檢流量計準(zhǔn)確性較高。

在對比過程中，如果你發(fā)現(xiàn)被檢流量計與參照流量計讀數(shù)有差異，也不必失望，因為也有可能是其他原因造成兩者的流量讀數(shù)差異。你可以對照下面所列出的這些因素來檢查。

PART 1/ 參照流量計的選擇問題

（1）參照流量計是否準(zhǔn)確，精度是否與被檢流量計同級或更高？建議使用精度更高的流量計作為參照標(biāo)準(zhǔn)。

（2）參照流量計近期是否有校準(zhǔn)過？不建議使用長期未校準(zhǔn)的流量計作為參照標(biāo)準(zhǔn)。

（3）參照流量計是否與被檢流量計量程接近？參照流量計量程應(yīng)與被檢流量計接近，或略偏大。

（4）參照流量計測量原理是什么，測量結(jié)果是否為質(zhì)量流量？建議選擇質(zhì)量流量計作為參照流量計，或讀數(shù)可換算到標(biāo)況質(zhì)量流量的流量計。如果測量結(jié)果為工況體積流量，由于系統(tǒng)壓損和流量計本身壓損的原因，將不具有可對比性。

PART 2/ 管路連接問題

（1）管路、連接件、螺紋接口是否漏氣？如果系統(tǒng)漏氣會導(dǎo)致兩個流量計讀數(shù)不一致。

（2）兩個流量計中間的管路是否太長？應(yīng)盡可能縮短被檢流量計與參照流量計中間連接管路的長度。

PART 3/ 參數(shù)設(shè)置問題

（1）兩個流量計的STP或NTP標(biāo)況溫度、標(biāo)況壓力設(shè)置是否一致？兩者必須設(shè)置為相同的標(biāo)況溫度與標(biāo)況壓力。

（2）測試前無氣流通過的時候是否有對流量計清零？如果無氣流的時候，流量讀數(shù)不為零，建議使用清零鍵TARE清零后再通氣測試。

PART 4/ 介質(zhì)氣體問題

（1）兩個流量計的氣體類型選擇是否一致？氣體模式與實際測試的氣體是否一致？必須保證兩者選擇的氣體模式與實際測試的氣體一致。

（2）測試氣體的溫度和壓力是否在兩個流量計的正常工作范圍內(nèi)，是否接近兩個流量計的校準(zhǔn)溫度和壓力？一般建議使用常溫、常壓的氣體進行測試。溫度太低或太高，壓力太高，都可能造成額外的流量誤差。

（3）測試氣體是否干燥、純凈？如果氣體含較多水蒸氣、顆粒物、油煙、雜質(zhì)，都有可能造成額外的測量誤差。

PART 5/ 其他問題

（1）數(shù)據(jù)記錄是否為標(biāo)況的質(zhì)量流量？將工況體積流量誤看作質(zhì)量流量也會導(dǎo)致兩者讀數(shù)偏差。質(zhì)量流量單位一般為SCCM, SLPM, NCCM, NLPM等。工況體積流量單位一般為CCM, LPM等。

（2）流量計的工作電源電壓是否為額定電壓？電壓偏低、偏高、不穩(wěn)都可能導(dǎo)致讀數(shù)偏差。

（3）如果流量測量信號使用模擬量信號，則應(yīng)排除系統(tǒng)對測量信號的干擾，信號干擾可能導(dǎo)致讀數(shù)結(jié)果偏差。

（4）測試過程中可觀察流量計的壓力、溫度或其他傳感器信號顯示是否正常，如果明顯異?？赡軐?dǎo)致流量讀數(shù)不準(zhǔn)。