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電容式測微儀的原理分析

來源:哈爾濱芯明天科技有限公司   2019年05月22日 11:20  
  電容式測微儀是毫米級測量范圍、納米級測量精度的儀器。測微儀包括電感測微儀、電容測微儀、激光測微儀三種類型,主要用于高精度測量長度、厚度、深度、錐度等應(yīng)用。
  在電容微位移測量中,電容位移傳感器對微位移的測量越、響應(yīng)速度越快、非線性越小,整體性能就越好。首先由傳感器感受微位移的變化,并將其轉(zhuǎn)換成電容量的變化,然后經(jīng)過信號轉(zhuǎn)換電路將電容量的變化轉(zhuǎn)換成可測的電壓信號,然后利用A/D轉(zhuǎn)換器實現(xiàn)信號的采集,由單片機進(jìn)行信號的處理和傳輸。終實時顯示,并進(jìn)行線性擬合給出相關(guān)數(shù)據(jù)。
  以電容式微位移傳感器為基礎(chǔ),利用運算放大器測量電路原理,當(dāng)恒定頻率的正弦激勵電流通過傳感器電容時,傳感器上產(chǎn)生的電壓幅值與電容極板間隙成比例關(guān)系。主放大器具有高輸入阻抗,保證足夠大的開環(huán)增益以實現(xiàn)高精度運算,其輸出為一調(diào)幅波,幅值的變化與被測位移變化一一對應(yīng)。通過全波整流電路、增益濾波電路對放大的被測信號進(jìn)行解調(diào),后進(jìn)入A/D轉(zhuǎn)換進(jìn)行數(shù)據(jù)處理,在單片機的控制下完成數(shù)據(jù)的顯示等過程,提高了輸出信號的抗干擾性。
  電容式非接觸式測微儀,通過電容測頭可以測量0-200μm范圍內(nèi)的微小位移,測量精度為納米級。測微儀由機箱與傳感模塊組成,可組成多測量通道數(shù)。      它基于一個理想的平行板電容器原理,傳感器與相對面被測目標(biāo)形成的兩個電極,采用保護(hù)環(huán)電容器原理,用于測量任何金屬時,傳感器仍是線性的。

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