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壓電陶瓷管掃描器是徑向極化壓電材料的薄圓管體，具有四個外部電極和連續(xù)的內(nèi)部電極。 當(dāng)電壓施加到外部電極之一時，相應(yīng)區(qū)域的致動器管壁膨脹，這引起管尖的垂直收縮和大的橫向偏轉(zhuǎn)。 圓周電極可用于垂直或徑向伸展和收縮。

壓電管掃描儀廣泛用于掃描探針顯微鏡、光纖拉伸和光束掃描等應(yīng)用?？筛鶕?jù)要求提供定制尺寸、規(guī)格。

驅(qū)動方式與位移計算

當(dāng)壓電陶瓷管的底端基部固定后，掃描的位移Δx和Δy的估算公式如下：

其中Δx與Δy分別為x軸和y軸的位移，d31為壓電形變常數(shù)，L為陶瓷管的長度，D為陶瓷管的外徑，h為陶瓷管的壁厚，Vx與Vy是施加的電壓。

由于施加在所有四個外部電極或內(nèi)部電極上的電壓引起的垂直伸長位移，估算公式如下：

由于施加在所有四個外部電極或內(nèi)部電極上的電壓引起的直徑的膨脹位移，估算公式如下：

可通過給內(nèi)部和外部電極施加相反電壓，可以使垂直和徑向的擴(kuò)展范圍加倍。

在驅(qū)動內(nèi)部電極配置中，X和Y電極以標(biāo)準(zhǔn)方式以相等和相反的電壓驅(qū)動。 通過向內(nèi)部電極施加滿量程負(fù)電壓，獲得等于垂直掃描范圍的一半的收縮。該方法利用壓電材料的較高正電場強(qiáng)度，其通常是負(fù)電場強(qiáng)度的五倍。 必須注意不要對內(nèi)部電極施加正電壓，因?yàn)檫@會導(dǎo)致去極化。

安裝

常見的安裝配置是帶有固定底座和自由端的懸臂式。 基底可以用兩部分環(huán)氧樹脂或高粘度氰基丙烯酸酯直接粘合到絕緣表面上。 壓電管也可以通過去除少量電極而粘合到導(dǎo)電表面，如下面“電極”中所述。

電極

壓電陶瓷管配有鎳薄膜電極。 內(nèi)部電極是連續(xù)的，外部電極是四分之一的。 通過用稀硝酸蝕刻可以去除電極面積。 可根據(jù)要求提供定制電極配置。

在需要高磁場的應(yīng)用中，鎳電極可以用銅或金代替。銅是一種經(jīng)濟(jì)的選擇，但Gold具有優(yōu)異的耐腐蝕性和導(dǎo)電性。

電流要求

計算功率帶寬

所需的電流是 I=C dV/dt，其中I是電流, C是有效電容，dV / dt是電壓變化率。 對于正弦波，所需的峰值電流等于I_P =2πfV_p-p ，其中V_p-p是峰峰值電壓。 對于三角波，所需的峰值電流等于： Ip=2CfVp−p。

引線焊接

可使用導(dǎo)電環(huán)氧樹脂或標(biāo)準(zhǔn)焊料和松香助焊劑連接電線。 施加助焊劑后，建議與300℃鐵接觸一秒鐘。

真空兼容性

壓電管不含任何除氣材料，并且*兼容真空。

低溫兼容性

材料PZT-5H在低溫下工作良好。 作為指導(dǎo)，靈敏度降低了四倍。 然而，在低溫下，施加的電壓可以增加到+/- 2kV / mm，這可以重新獲得或超過室溫下的偏轉(zhuǎn)范圍，但需要高電壓。

例如，施加電壓為+/- 250V，T6309壓電陶瓷管的預(yù)測偏轉(zhuǎn)范圍為+/- 10um。但是，通過將電壓增加到+/- 1kV，可以恢復(fù)+/-40μm的掃描范圍。

選項/ OEM定制

自定義尺寸和厚度

定制電極配置

定制布線/連接器

安裝平臺設(shè)計和制造