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壓電納米定位臺是以壓電陶瓷作為驅(qū)動源,結(jié)合柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)X軸,Z軸,XY軸,XZ軸,XYZ軸精密運(yùn)動的壓電平臺。
芯明天壓電納米定位臺的驅(qū)動形式包含壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)式、放大機(jī)構(gòu)式。1-3維運(yùn)動,行程范圍zui大可達(dá)1.1mm,具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點(diǎn),可以選擇配置高精度電容、電感、電阻應(yīng)變計(jì)傳感器實(shí)現(xiàn)納米級分辨率及定位精度且具有*的可靠性。壓電納米定位臺在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
芯明天壓電納米定位臺系列產(chǎn)品
壓電納米定位臺產(chǎn)品屬于高精密儀器,對于安裝與使用有著非常嚴(yán)格的要求,以保證其長期使用的可靠性與穩(wěn)定性。
臺體固定連接
a). 固定安裝前先清潔安裝臺面;
b). 將壓電平臺固定在安裝臺面上,對準(zhǔn)安裝孔對角固定安裝,以保證力平衡;
c). 選擇合適的螺釘進(jìn)行固定連接,防止安裝不牢造成松動影響測試精度。
連接外部負(fù)載
a). 平移臺承受的負(fù)載需加載在平移臺臺面中心;
b). 連接負(fù)載,要求負(fù)載不要超過運(yùn)動臺所能承受的zui大負(fù)載;
c). 出于對壓電納米定位臺的保護(hù)我們不建議負(fù)載過高,如必須采用較高的負(fù)載請適當(dāng)減小負(fù)載質(zhì)量;
d). 旋擰外部工件到移動面上的時(shí)候,特別要注意避免扭力;
e). 避免運(yùn)動方向的外力即拉力,以免造成鉸鏈損壞;
f). 選擇適合的螺栓,避免過長或過短影響精度或刮傷產(chǎn)品;
g). Z軸運(yùn)動壓電納米定位臺不可以倒置使用,如有此需求可以特殊定制;
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