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因多晶硅工廠既有化工行業(yè)的特性,又有冶金行業(yè)的特性,所以在閥門選型中有一定的特殊性。既要有的地方需要高可靠性的閥門,有的地方需要耐磨的閥門,而且還用到交變工況(在-70 到300 兩個(gè)工況)的特殊閥。下邊主要從兩個(gè)方面介紹在多晶硅公司閥門選型應(yīng)注意的問題。
1、從化工行業(yè)特性如何提高可靠性來論述。大多數(shù)化工廠都具有有毒有害、易燃易爆的氣體和液體,而多晶硅廠的主要介質(zhì)為ST,且STC與氧氣反應(yīng)可生產(chǎn)氫氣,TCS與水劇烈反應(yīng)產(chǎn)生氯化氫。因此對可靠性要求就更高。能夠適應(yīng)STC和TCS的材質(zhì)和閥門形式都是當(dāng)今的研究課題。因此:
(1)介質(zhì)為氯硅烷、冷凝劑、廢氣、氫氣、氯化氫的調(diào)節(jié)閥80%以上采用波紋管調(diào)節(jié)閥。圖1為波紋管調(diào)節(jié)閥的內(nèi)部結(jié),其*的波紋管內(nèi)部結(jié)構(gòu)杜絕了閥桿處外漏;
(2)而如口徑不較大或溫度大于500℃時(shí)不能采用金屬波紋管調(diào)節(jié)閥時(shí),可采用氮封形式阻止空氣與閥內(nèi)部介質(zhì)的接觸;
(3)而介質(zhì)對人體危害不大,卻對大氣和水有很大危害的工況如冷劑氟利昂時(shí),可采用環(huán)保級密封,來有效阻止介質(zhì)外漏;
(4)介質(zhì)為蒸汽時(shí)采用石墨填料或增強(qiáng)型PTFE填料,閥芯閥座采用司太萊堆焊。因蒸汽介質(zhì)的汽蝕現(xiàn)象嚴(yán)重,采用堆焊閥門有效調(diào)高閥門壽命;
(5)軟密封球閥因結(jié)構(gòu)簡單且泄露等級高也被大量使用,在火災(zāi)危險(xiǎn)場所必須具有防火設(shè)計(jì)和閥桿防噴出設(shè)計(jì),保證在火災(zāi)發(fā)生時(shí)安全可靠運(yùn)行;(6)在交變工況時(shí),采用的閥門必須保證在低溫時(shí)不漏高溫不堵,而不是滿足一個(gè)溫度條件。在尾氣吸附工況(在-70℃到300℃兩個(gè)工況)采用的閥門材質(zhì)和結(jié)構(gòu)都與其它場合不同;
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