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DL10-GT14-ST-21型方塊電阻測(cè)試儀使用說明書
DL10-GT14-ST-21型方塊電阻測(cè)試儀是四探針方塊電阻測(cè)試儀中的新一代產(chǎn)品,是一種依照類似國家標(biāo)準(zhǔn)和美國A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì),專門測(cè)量半導(dǎo)體方塊電阻(或稱薄屋電阻、面電阻,單位Ω/□)的新型儀器。可用于測(cè)量一般半導(dǎo)體材料、導(dǎo)電薄膜(如ITO透明導(dǎo)電氧化膜)……等同類物質(zhì)的薄層電阻。
該儀器以大規(guī)模集成電路為主要核心;用基準(zhǔn)電源和運(yùn)算放大器組成高精度穩(wěn)流源;帶回路有效正常指示電路;并配以大型LCD顯示讀數(shù),使儀器具有體積小、重量輕、外形美、易操作、測(cè)量速度快、精度高的特點(diǎn)。
按方塊電阻量值大小分為二個(gè)量程檔:
1 1.00~199.99Ω/□;
2 10.0~1999.9Ω/□;
小分辨率:0.01Ω/□;
測(cè)量過程誤差:≤±0.8%;
量程:0~199.99mv;
分辨率:10μv;
方式:LCD大屏幕顯示;極性,超量程均自動(dòng)顯示;小數(shù)點(diǎn)同步顯示;
在整個(gè)量程范圍內(nèi),測(cè)量不確定度≤5%;
間距:1mm或3.8mm可選,偏差:≤2%;
針間絕緣電阻≥500MΩ;
9V疊層電池1節(jié);
如下圖(圖1)所示,將四根探針在同一直線上排列的探針以一定壓力垂直壓在被測(cè)樣品表面上,在1,4探針間通以電流I時(shí),2、3探針間就產(chǎn)生一定的電壓降ΔV。
圖1
根據(jù)理論公式(見下),
(Ω/□)
其中:
D:樣品直徑或長、寬度;
W:擴(kuò)散層或鍍膜層厚度;
S:探針間距;
F(D/S):樣品直徑修正因子;
F(W/S):樣品厚度修正因子;
Fsp:探針修正系數(shù);
當(dāng)測(cè)量很薄的半導(dǎo)體雙面擴(kuò)散層或玻璃鍍層的方塊電阻時(shí),被測(cè)材料可作類似無窮大,此時(shí),公式中的F(D/S)=4.532;F(W/S)=1,選取探針間距S=1mm;則Fsp=1,這時(shí)就有:
(Ω/□)
當(dāng)取測(cè)量電流I=4.532×10n(mA)時(shí),即可從顯示屏直接讀取被測(cè)材料的方塊電阻。
DL10-GT14-ST-21型手提式方塊電阻測(cè)試儀,由電氣主機(jī)和探頭(手提式或臺(tái)式均可)組成。兩部分用訊號(hào)電纜和接插件相連。
面板如下圖所示,顯示屏用于顯示測(cè)量的方塊電阻數(shù)據(jù)結(jié)果。面板及顯示屏指示標(biāo)志說明如下:
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