壓阻式壓力傳感器的工作原理
來源:金湖力科儀表有限公司
2014年06月24日 14:26
壓阻式壓力傳感器的工作原理圖
壓阻式壓力傳感器屬于哪種壓力變送器?主要用在哪些方面?壓阻式壓力傳感器利用什么原理工作的呢?親,您稍等我們?yōu)槟忉尅?br />
壓阻式壓力傳感器是利用單晶硅的壓阻效應而構成,其工作原理如圖2-2-9所示。采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝.在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內。當壓力發(fā)生變化時,單晶硅產生應變,使直接擴散在上面的應變電阻產生與被測壓力成比例的變化,再由橋式電路獲相應的電壓輸出信號。
壓阻式壓力傳感器具有精度高、工作可靠、頻率響應高、遲滯小、尺寸小、重量輕、結構簡單等特點,可以適應惡劣的環(huán)境條件下工作,便于實現(xiàn)顯示數字化。壓阻式壓力傳感器不僅可以用來測量壓力,若稍加改變,還可以用來測量差壓、高度、速度、加速度等參數。