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沈陽加野科學(xué)儀器有限公司
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電子行業(yè)廠房無塵車間環(huán)境技術(shù)要求——潔凈度懸浮粒子檢測方法

時間:2023-4-27閱讀:331
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        電子行業(yè)是一個多元化的行業(yè),包含新能源鋰電、光伏、電路板、半導(dǎo)體、電子材料、電子產(chǎn)品等眾多領(lǐng)域。近十多年來科學(xué)技術(shù)日新月異,對于新產(chǎn)品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切,同時對無塵凈化技術(shù)的設(shè)計和發(fā)展提出了更高的要求。
        由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴格,潔凈生產(chǎn)車間環(huán)境監(jiān)測指標(biāo)應(yīng)包括溫度(℃)、濕度(%RH)、懸浮粒子、風(fēng)速、壓差、噪聲、照度、靜電、氣態(tài)分子污染物等。
        其中采用塵埃粒子計數(shù)器檢測受控環(huán)境中懸浮粒子數(shù)量來驗證潔凈度等級是最關(guān)鍵的。粒子數(shù)量超出潔凈度等級所允許的限值時,將造成受控環(huán)境的異常,導(dǎo)致潔凈度等級降低,嚴重影響產(chǎn)品質(zhì)量。


 
懸浮粒子測試方法:
1、室內(nèi)測試人員必須穿潔凈服,不得超過2人,應(yīng)位于測試點下風(fēng)側(cè)并遠離測試點,并應(yīng)保持靜止。進行換點操作時動作要輕,應(yīng)減少人員對室內(nèi)潔凈度的干擾。
2、檢測前和檢測后設(shè)備按照標(biāo)準要求進行“清零"自凈。



3、在單向流區(qū)域,所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動力采樣,進入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過20%。若無法做到這一點,將采樣口正對氣流的主方向。非單向流的采樣點,采樣口應(yīng)豎直向上。
4、采樣口至粒子計數(shù)器的連接管應(yīng)盡量短。



5、采樣點一般離地面0.8-1.5m左右,要均勻科學(xué)布點,而且要避開回風(fēng)口。對任何小潔凈室或局部空氣凈化區(qū)域,采樣點的數(shù)目都不得少于2個,按照法規(guī)標(biāo)準ISO14644及GB16292等內(nèi)容中執(zhí)行,最少采樣點數(shù)目對應(yīng)懸浮粒子采樣點數(shù),關(guān)鍵設(shè)備或關(guān)鍵工作活動范圍處可增加測點。
6、按照ISO14644法規(guī)、GB25915法規(guī)、GB16292法規(guī)標(biāo)準等內(nèi)容進行測試,用戶根據(jù)標(biāo)準內(nèi)的測試方法進行采樣點數(shù)量、采樣次數(shù)、每個點采樣量(即計算采樣時間)確認好相關(guān)要求,即可逐步進行粒子潔凈度的監(jiān)測,測試結(jié)果對照法規(guī)等級表進行確認是否合格。
 

 
粒子計數(shù)器引用標(biāo)準如下:
《國際標(biāo)準潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境》 ISO 14644-1:2015
《醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房設(shè)計標(biāo)準》 GB 50457
《食品工業(yè)潔凈用房建筑技術(shù)規(guī)范》 GB50687
《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》 GB 50073
《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》 GB 50472
《醫(yī)藥工業(yè)懸浮懸浮粒子測試方法》 GB/T16292
《潔凈室施工及驗收規(guī)范》 GB 50591
《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境》 GB 25915
 
國家標(biāo)準潔凈廠房潔凈設(shè)計規(guī)范與國際標(biāo)準 ISO 數(shù)據(jù)對照

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