半導體螺桿真空泵,東莞市普諾克真空科技有限公司專業(yè)研發(fā)制造:針對產業(yè)內容客戶群需要,自主研發(fā)制造真空泵產品。
螺桿真空泵特點優(yōu)勢:
1、真空度高,單泵極限壓力≤1Pa,高真空區(qū)抽氣量大。
2、工作效率高,功耗低。
3、泵腔內無油,對被抽系統(tǒng)無污染,可獲得潔凈真空。
4、螺桿泵轉子間隙相對較小,極限真空度更高,適用于半導體、電子工業(yè)中要求無油潔凈的工作場合;系列螺桿泵轉子間隙相對較大,極限真空度相對低一些,泵腔及轉子表面有鍍鎳層或PTFE涂層可供選擇,可抽除大量水蒸氣及多種腐蝕性介質,適用于化工、制藥等工作環(huán)境較為惡劣的工作場合。
5、工作過程中無廢油、廢水排放,對環(huán)境無污染。
6、結構簡單、緊湊,維修方便,占地面積小。
螺桿真空泵應用:
真空鍍膜、真空焊接爐、真空熱處理爐、大型空間模擬試驗、燈管及燈泡制造、激光器制造、真空包裝設備、汽車制造業(yè)、集中真空抽氣系統(tǒng)、各類化工處理、真空脫汽、真空除氣、真空脫水、真空冷凍干燥、真空蒸餾。
螺桿真空泵主要特性和優(yōu)勢:
資金成本低,維護要求 低,由此擁有成本也低
減少用戶干預次數(shù)
降低易耗品成本
無需除油
不會向大氣中排放廢油
抽取速度非常穩(wěn)定,為制程帶來可重復性
大氣壓下持續(xù)泵送
能夠處理微粒
干式操作消除了反流,從而使反應合金免受污染。
不易察覺的噪聲級
無難看的油濺
無危險油蒸汽
型號:PNK DSP 0460
額定流量:460m3/h
極限壓力:1Pa
電機功率:15kw
轉速:2900/3500rpm
噪音:75dB(A)
吸氣口:80mm
排氣口:65mm
冷卻水量:15-20L
空溫:0-50℃
操作濕度:90%RH
半導體螺桿真空泵
曲線圖:
安裝圖: