1.真空泵的極限壓強(qiáng) 
    泵的極限壓強(qiáng)單位是PA，是指泵在入口處裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩(wěn)定的zui低壓強(qiáng)。
    2.真空泵的抽氣速率 
    泵的抽氣速率單位是M3/S或L/S，是指泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩，并按規(guī)定條件工作時(shí)，從試驗(yàn)罩流過的氣體流量與在試驗(yàn)罩位置測得的平衡壓強(qiáng)之比。簡稱泵的抽速。
    3.真空泵的抽氣量 
    真空泵的抽氣量單位是PA M3/S或PA L/S。是指泵入口的氣體流量。
    4.真空泵的起動(dòng)壓強(qiáng) 
    真空泵的起動(dòng)壓強(qiáng)單位為PA，它是指泵無損壞起動(dòng)并有抽氣作用時(shí)的壓強(qiáng)。
    5.泵的前級(jí)壓強(qiáng) 
    真空泵的前級(jí)壓強(qiáng)單位是PA，它是指排氣壓強(qiáng)低于一個(gè)大氣壓的真空泵的出口壓強(qiáng)。
    6.真空泵的zui大前級(jí)壓強(qiáng) 
    真空泵口zui大前級(jí)壓強(qiáng)單位是PA，它是指超過了能使泵損壞的前級(jí)壓強(qiáng)。
    7.真空泵的zui大工作壓強(qiáng) 
    真空泵的zui大工作壓強(qiáng)單位是PA，它是指對(duì)應(yīng)zui大抽氣量的入口壓強(qiáng)。在此壓強(qiáng)下，泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞。
    8.壓縮比 
    壓縮比是指泵對(duì)給定氣體的出口壓強(qiáng)與入口壓強(qiáng)之比。
    9.何氏系數(shù) 
    泵抽氣通道面積上的實(shí)際抽速與該處按分子瀉流計(jì)算的理論抽速之比。
    10.抽速系數(shù) 
    泵的實(shí)際抽速與泵入口處按分子瀉流計(jì)算的理論抽速之比。
    11.返流率 
    泵的返流率單位是G/CM2.S。它是指泵按規(guī)定條件工作時(shí)，通過泵入口單位面積的泵流質(zhì)量流率。
    12.水蒸氣允許量 
    水蒸氣的允許量單位是KG/H，它是指泵在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時(shí)能抽除的水蒸氣質(zhì)量流量。
    13.zui大允許水蒸氣入口壓強(qiáng) 
    zui大允許水蒸氣入口壓強(qiáng)單位是PA 。它是指在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時(shí)所能抽除的水蒸氣的zui高入口壓強(qiáng)。

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