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本儀器適用于實時監(jiān)測曝光量或曝輻量。用戶可以根據(jù)工作需要設定預置值,儀器在監(jiān)測量達到預置值時發(fā)聲報警。該儀器可應用于材料老化、紫外殺菌、光化學、大規(guī)模集成電路光刻等領域。
主要性能和指標:
測量波段與量程:
測量范圍 (nm) | 峰值波長 (nm) | 量 程 | 主途 | |
輻照度 | 曝光(輻射量) | |||
350—1050 | 半 寬 400—1000 | 999 mW/cm2 | 9999.9 MJ/m2 | 材料老化 |
230—290 | 254 | 9.99 mW/cm2 | 999.99 mJ/cm2 | 紫外殺菌 |
320—400 | 365 | 9.99 mW/cm2 | 999.99 mJ/cm2 | 印刷、光刻 |
380—460 | 420 | 9.99 mW/cm2 | 999.99 mJ/cm2 | 印刷 |
注:表中所列為常用波段和量程,用戶選購儀器時要先確認工作波段以及量程。用戶也可選擇其它波段,例如峰值波長為313nm或340nm,但是要提前就主要指標與部溝通,雙方確認后再簽購銷合同。定制產品原則上不予退貨。
儀器顯示:本儀器有兩個LED顯示窗口,其中光輻照度顯示3位
曝光量顯示5位,兩窗口的量程由用戶參照上表確定
光輻照度及曝光量精度:±5% (相對于NIM標準)
使用環(huán)境:
溫度:20℃±20℃
濕度 <80%
使用光纖傳光束時,試驗箱的溫度可達到80℃左右
電源:AC220V
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