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輻射自動測控儀

時間:2020/5/18閱讀:82
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本儀器適用于實時監(jiān)測曝光量或曝輻量。用戶可以根據(jù)工作需要設(shè)定預(yù)置值,儀器在監(jiān)測量達到預(yù)置值時發(fā)聲報警。該儀器可應(yīng)用于材料老化、紫外殺菌、光化學(xué)、大規(guī)模集成電路光刻等領(lǐng)域。
主要性能和指標:
測量波段與量程:

測量范圍

nm

峰值波長

nm

   

主途

輻照度

曝光(輻射量)

350—1050

 

400—1000

999 mW/cm2

9999.9 MJ/m2

材料老化

230—290

254

9.99 mW/cm2

999.99 mJ/cm2

紫外殺菌

320—400

365

9.99 mW/cm2

999.99 mJ/cm2

印刷、光刻

380—460

420

9.99 mW/cm2

999.99 mJ/cm2

印刷

注:表中所列為常用波段和量程,用戶選購儀器時要先確認工作波段以及量程。用戶也可選擇其它波段,例如峰值波長為313nm或340nm,但是要提前就主要指標與部溝通,雙方確認后再簽購銷合同。定制產(chǎn)品原則上不予退貨。
儀器顯示:本儀器有兩個LED顯示窗口,其中光輻照度顯示3位
曝光量顯示5位,兩窗口的量程由用戶參照上表確定
光輻照度及曝光量精度:±5% (相對于NIM標準)
使用環(huán)境:
溫度:20℃±20℃
濕度 <80%
使用光纖傳光束時,試驗箱的溫度可達到80℃左右
電源:AC220V

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