超精密振動(dòng)一位移測量儀是電容不接觸式性精密測量儀器，它既是測振儀，又是電子測微計(jì)，直接讀取被測靜態(tài)位移值或振動(dòng)幅值（單峰值），具有一般非接觸式儀器所共有的磨擦，磨損和惰性特點(diǎn)外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁干擾能力強(qiáng)和使用操作方便等優(yōu)點(diǎn)，在研究所、高等院校、工廠和得到應(yīng)用，成為科研、教學(xué)和生產(chǎn)中一種的測試儀器。
性能指標(biāo)
量程/分辨率:±3.000μm/0.001μm、±30.00μm/0.01μm、±300.0μm/0.1μm
測量頻率范圍：0—7500HZ
線性度：≤±0.5%
輸出信號：0—±5.1V 0—18mA
零點(diǎn)漂移（開機(jī)預(yù)熱10分鐘后）：≤±0.25%FSO/h
量程、初始間隙δ0與傳感器電直徑d0
測量圓柱面時(shí)，應(yīng)將儀器示值乘以一修正系數(shù)K1，不同圓柱面直徑D的K1值
工作溫度：放大器－10℃－+60℃ 探頭－30℃－+200℃
電源：220V±10%  50HZ
體積：258mm×300mm×102mm
使用方法：
靜態(tài)位移測量
1.頻率校準(zhǔn)
將傳感器的高頻插頭插入外接振蕩器的“輸入”插座，外接振蕩器的“輸出”與儀器后面板的“輸入”用兩頭帶有高頻插頭的電纜聯(lián)接起來，插好電源線，打開電源，儀器有數(shù)碼顯示，將8.2電擰入傳感器頭部，并使之遠(yuǎn)離物體，按下前面板按鍵“頻率較準(zhǔn)”、“位移”，這時(shí)數(shù)顯有指示，預(yù)熱10分鐘，調(diào)節(jié)“調(diào)零”旋鈕，使顯示回到零點(diǎn)，如果偏向一邊，則調(diào)節(jié)“頻率較準(zhǔn)”鈕，使顯示回到零點(diǎn)附近，調(diào)節(jié)“調(diào)零”旋鈕回到零點(diǎn)。
2.選用量程和測量電，安裝傳感器
根據(jù)被測位移值（或振動(dòng)幅值）可能變化的范圍，由表1查得相應(yīng)的量程和電直徑d0。如選用±30μm檔，直接按下30μm檔量程鍵，再將傳感器借助彈性夾套安裝到磁力表座（或用戶自制的夾具）上，使測量電的測量端面接近被測量物體表面，如果是平面或圓柱面，應(yīng)盡可能平行，如果是球面，應(yīng)可能對中。
3.調(diào)整初始間隙，開始測量
調(diào)整的初始間隙（參考值），調(diào)整時(shí)顯示為“+”位移值時(shí)，反時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)傳感器微調(diào)螺母，使測量間隙逐漸增大，反之順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，間隙減少，數(shù)值會(huì)逐漸接近零點(diǎn)。借助面板上的“調(diào)零”旋鈕細(xì)調(diào)，可使儀器指零，測量即可開始，當(dāng)被測表面接近傳感器，測量間隙小，表示被測尺寸增加，儀器示值為“+”位移值，反之為“—”位移值，選用其它兩種量程，只需要根據(jù)表1重新?lián)Q用測量電，切換量程和重新調(diào)整初始間隙。
4.與儀表聯(lián)接
儀器設(shè)有“電壓輸出”插座，三種量程的滿量程電壓輸出信號都是±5.1V（線性區(qū)）電流18mA，電壓輸出可與種高輸入阻抗儀表（計(jì)算機(jī)，示波器，頻率計(jì)，F(xiàn)FT頻譜分析儀等）聯(lián)接，以便對被測信號進(jìn)行記錄、觀察和分析處理。
(三)、振動(dòng)測量
儀器測量振動(dòng)位移時(shí)，其方法基本同靜態(tài)位移測量相似，其中初始間隙的調(diào)整可在被測物體啟動(dòng)前進(jìn)行，也可在啟動(dòng)后進(jìn)行，振動(dòng)測量時(shí),“位移”示值是顯示被測物體啟動(dòng)后的浮動(dòng)位移，同靜態(tài)位移一樣，都是直流信號分量，與交流信號分量關(guān)，“振幅”示值是被測振動(dòng)信號的單振幅值（與直流信號分量關(guān)），如果“位移”示值遠(yuǎn)離零點(diǎn)，應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)傳感器微調(diào)螺母，使輸出回到零點(diǎn)附近，以振動(dòng)測量有滿量程的線性工作范圍。
2.儀器輸出電壓與外接儀表定標(biāo)，確定被測振動(dòng)位移值
儀器輸出電壓接到儀表上，儀表使用直流DC輸入，在“頻率校準(zhǔn)”狀態(tài)下，調(diào)整“頻率校準(zhǔn)”鈕在滿量程范圍內(nèi)給出兩個(gè)不同的示值（如零與正滿度值，即為3μm或30μm或300μm），看其在外接儀表中相應(yīng)的偏離格數(shù)，由此確定其間的定量關(guān)系，振動(dòng)測量時(shí)，根據(jù)所選量程，儀器輸出電壓在儀表中所對應(yīng)的格數(shù)，通過以上定標(biāo)所確定的定量關(guān)系，確定出被測物體振動(dòng)的位移值。
（四）注意事項(xiàng)：
1.儀器屬精密測量儀器，固定傳感器支架要有足夠的剛性，傳感器調(diào)整好，讓其穩(wěn)定一段時(shí)間，消除支架的機(jī)械蠕變再開始測量。
2.被測量金屬物體要接地。
3.測量過程中盡量不要挪動(dòng)傳感器的聯(lián)接電纜線，使電纜線自然放置。
配套部件：
超精密振動(dòng)—位移測量儀                           一臺(tái)
外接振蕩器                                       一只
傳感器（包括彈性夾套、塑料保護(hù)套、φ2.9 、φ8.2、
φ26電容板一枚）                             一套
220V交流電源線                                   一根
輸出測量線                                       一根
外接振蕩器與儀器本體聯(lián)接線                       一根
接地線                                           一根
手提箱                                           一只
使用說明書                                       一份
本產(chǎn)品既測量頻率從0--7.5KHz的機(jī)械振動(dòng)位移(動(dòng)態(tài)),又可測量小至0.001微米的機(jī)械位移和零件尺寸(靜態(tài)).測量是非接觸的,故適合一般儀器不能勝任的旋轉(zhuǎn)軸式或不受力的小型.線型.薄壁或怕劃傷的金屬.非金屬精密零部件的靜態(tài),動(dòng)態(tài)和在線測量.曾獲得尤里卡獎(jiǎng),一等獎(jiǎng).
主要指標(biāo):
量    程:+ 3微米 . + 30微米 . + 300微米
分 辨 率:0.001微米 . 0.01微米 . 0.1微米
頻率范圍:0--7.5KHz
非 線 性:<+0.5%
溫    漂:0.25%/h(開機(jī)預(yù)熱20分鐘)
工作溫度:-10-80度
輸出信號:+ 5.1V  20MA  阻抗300歐姆
電    源:~220V  50Hz
量程(微米):   +3.000    +30.00    +300.0
初始間隙(毫米):   0.05       0.5        5（傳感器可以調(diào)節(jié)探頭與被測物之間的初始間隙）
傳感器電板直徑(毫米): 2.9    8.2      26       （不銹鋼材料，傳感器電板直徑大小可以根據(jù)用戶被測物大小定制）
儀器體積:360毫米X280毫米X120毫米   重量:8公斤   傳感器探頭尺寸：50毫米X14毫米（可以安裝不同規(guī)格的電容板）
儀器直接顯示被測靜態(tài)位移值或振動(dòng)幅值,另外設(shè)有電壓輸出，可以與種儀表相連接(計(jì)算機(jī),電壓表,頻率計(jì)，示波器等),以便對被測信號采集.觀察.和分析處理,得出被測物的振動(dòng)位移和振動(dòng)頻率.儀器傳感器可以調(diào)節(jié)探頭與被測物之間的間隙。傳感器配有彈性夾套，安裝在磁力表座或自做夾具上，安裝使用方便
儀器應(yīng)用舉例:
1.旋轉(zhuǎn)軸的徑向跳動(dòng),軸向竄動(dòng)和回轉(zhuǎn)精度
2.往復(fù)的運(yùn)動(dòng)特性和重復(fù)定位精度
3.正弦波激振和抹脈沖激振中振動(dòng)測量
4.機(jī)械零部件的相對振動(dòng)和變形
5.盤類零部件的端面振擺動(dòng)
6.軸承間隙和油膜厚度
7.線切割機(jī)床的電絲的振動(dòng)
8.機(jī)床主軸熱位移與動(dòng)態(tài)加載試驗(yàn)測量
9.檢測零部件尺寸和平直度
10.板,帶的厚度
11.液面位置測定
12用于緣物體.半導(dǎo)體(如:陶瓷,玻璃,大理石,塑料,鉆石.晶體等)的振動(dòng).位移.厚度測量