高精度MEMS三軸可變電容加速度傳感器

是一款振動(dòng)速度測量傳感器，是結(jié)合先進(jìn)的低頻提升和國外的成熟技術(shù)研制成功的新一代低頻測試傳感器，廣泛應(yīng)用于機(jī)械振動(dòng)、石油勘探、地震波、動(dòng)平衡等多種測試領(lǐng)域。該型傳感器具有安裝簡便、堅(jiān)固可靠、體積小、測量精度高、抗干擾強(qiáng)等特點(diǎn)，能滿足用戶多樣化的要求。此外，該型傳感器高輸出型、高頻響型可選；同時(shí)結(jié)構(gòu)、安裝方式、線纜、接口等可根據(jù)用戶要求定制。具有高靈敏度、低失真、合理的阻尼系數(shù)、線性響應(yīng)好、防水性好、具有較高的分辨率，集水平徑向、水平切向、垂直豎向三分量為一體。

技術(shù)參數(shù)：
尺 寸：64 mm X64 mm X 64 mm；
應(yīng)用廣泛：地震波測試，機(jī)械振動(dòng)測試
安裝靈活：可選用石膏、膠劑、工裝夾具、混凝土填埋、螺栓等方式安裝；
精 度 高：只需一個(gè)方向安裝準(zhǔn)確即可確保三向的準(zhǔn)確性；
操作簡易：簡單明確的圖示引導(dǎo)完成三軸向的準(zhǔn)確安裝；
工作溫度：-40～70 ℃，適宜實(shí)驗(yàn)室及野外使用；
抗干擾強(qiáng)：信號噪聲小，分辯率高；

高精度MEMS三軸可變電容加速度傳感器

傳感器可在溫度高至160°C下使用，并具有特別的敏感元件，封裝于輕質(zhì)的鈦合金外殼內(nèi)，以確保在更寬的溫度范圍內(nèi)具有更大的穩(wěn)定性。該系列傳感器的電連接是通過專門設(shè)計(jì)的同軸玻璃金屬密封的5-44連接器實(shí)現(xiàn)的，該連接器可定位在任何所需的徑向方向上。3311A系列傳感器還具有微型通孔安裝結(jié)構(gòu)，可在固定之前360°轉(zhuǎn)動(dòng)，以便于安裝傳感器。該加速度傳感器采用氣密封裝，使得它在高濕度、惡劣環(huán)境下還能具有出色的性能，以及具有電氣隔離設(shè)計(jì)可避免EMI/接地環(huán)路干擾。