盡量提高傳感器的電容，可以提高傳感器的靈敏度。由于幾何尺寸的限制，無論是何種型式的電容傳感器，其電容量都很小。傳感器初始電容一般在C=20~200pF，動極板相對位移量，單電容式一般取Δd/d=0.15~0.2mm，差動式為Δd/d=0.3~0.5mm.極板距離d值小至      10~20μm。極板應有較高的表面粗糙度和平整度。提高傳感器電容的另一種辦法是在極板間選用介電常數(shù)大的絕緣材料。

傳感器的小電容量變化，注定它易受外界擾動的影響。分布電容會降低傳感器的靈敏度。為此，應盡量減小傳感器連接電纜的長度，并采用雙層屏蔽電纜，同時將電容傳感器置于金屬屏蔽罩內，并采用集成化的測量電路。