SMC壓力傳感器原理說(shuō)明

壓力傳感器是工業(yè)實(shí)踐中為常用的一種傳感器，其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境，涉及水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、、石化、油井、電力、船舶、機(jī)床、管道等眾多行業(yè)角度傳感器。
力敏傳感器是使用廣泛的一種傳感器，它是檢測(cè)氣體、液體、固體等所有物質(zhì)間作用力能量的總稱(chēng)，也包括測(cè)量高于大氣壓的壓力計(jì)以及測(cè)量低于大氣壓的真空計(jì)。力敏傳感器的種類(lèi)甚多、傳統(tǒng)的測(cè)量方法是利用彈性元件的形變和位移來(lái)表示，但它的體積大、笨重、輸出非線性壓力開(kāi)關(guān)。
隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)和良好的彈性，研制出半導(dǎo)體力敏傳感器，主要有硅壓阻式和電容式兩種，它們具有體積小、重量輕、靈敏度高等優(yōu)點(diǎn)，因此半導(dǎo)體力敏傳感器得到廣泛應(yīng)用。當(dāng)對(duì)一塊半導(dǎo)體在某一晶向上施加應(yīng)力時(shí)，其電阻率會(huì)產(chǎn)生一定的變化。這種導(dǎo)體電阻率變化和應(yīng)力之間的相互關(guān)系稱(chēng)為半導(dǎo)體壓阻效應(yīng)，利用此效應(yīng)制成的力學(xué)量傳感器稱(chēng)為壓阻式力敏傳感器，它有兩種類(lèi)型，一類(lèi)是將半導(dǎo)體應(yīng)變計(jì)粘貼在彈性元件上制成的傳感器，稱(chēng)為粘貼型壓阻式傳感器，另一類(lèi)是在半導(dǎo)體材料的基片上用集成電路工藝制成的擴(kuò)散電阻，使應(yīng)變計(jì)與硅襯底形成同一整體的傳感器，稱(chēng)為擴(kuò)散型壓阻式壓力傳感器。