AALBORG模擬質(zhì)量流量控制器AFC

AALBORG模擬質(zhì)量流量控制器AFC，產(chǎn)品概要

AFC 模擬熱式質(zhì)量流量控制器

設(shè)計特點

剛性金屬結(jié)構(gòu)

可用流量范圍從 0 到 10 sccm 到 0 到 100 slpm

大壓力 1000 psig (70 bar)

0-5 Vdc 或 4-20 mA 信號

泄漏完整性 1 x 10 -9 smL/sec 氦氣

±1% 滿量程精度

累加器選項

電路保護

AFC 模擬質(zhì)量流量控制器

AFC 型模擬質(zhì)量流量控制器旨在指示流量和控制氣體的設(shè)定流量。

這些單元中的每一個都包含一個的直管傳感器以及由不銹鋼制成的流道元件。命令模塊的 LED 讀數(shù)提供 0 到 99% 的校準(zhǔn)。從變送器外部可以方便地進行零位和跨度調(diào)整。

操作原理

計量氣體分為兩條層流路徑，一條通過主流管道，另一條通過毛細(xì)管傳感器管。兩個流道都設(shè)計為確保層流，因此它們的流速比是恒定的。

傳感器管上的兩個精密溫度傳感繞組被加熱，當(dāng)流動發(fā)生時，氣體將熱量從上游帶到下游繞組。產(chǎn)生的溫差與傳感器繞組的電阻變化成正比。

惠斯通電橋設(shè)計用于監(jiān)測傳感器繞組上與溫度相關(guān)的電阻梯度，該電阻梯度與瞬時流量成線性比例。

生成 0 至 5Vdc 或 4 至 20mA 的輸出信號，指示計量氣體的基于質(zhì)量分子的流速。

In AFC mass flow controllers the combined gas streams flow through a proportionating electromagnetic valve with an appropriately selected orifice. 閉環(huán)控制電路連續(xù)監(jiān)測質(zhì)量流量輸出并將其保持在設(shè)定流量。

在規(guī)定的限制范圍內(nèi)，流速不受溫度和壓力變化的影響。

AFC 質(zhì)量流量控制器包括一個電磁控制閥，該閥允許將流量設(shè)置為特定型號范圍內(nèi)的任何所需流量。作為安全功能，閥門通常處于關(guān)閉狀態(tài)，以確保在斷電的情況下關(guān)閉氣流。

AFC 質(zhì)量流量控制器設(shè)計用于計量和控制氣體流量，流量范圍為 10 sccm 至 100 slpm [N2]。氣體通過 1/4"、3/8" 或可選的 1/8" 壓縮接頭連接。這些控制器可用作臺式裝置或通過螺釘安裝在底座上。

傳感器電源端口有保險絲和極性保護。

氦氣泄漏完整性

1 x 10 -9 smL/sec 大到外部環(huán)境。

質(zhì)量流量系統(tǒng)

完整的質(zhì)量流量系統(tǒng)包括命令模塊、傳感器和電纜。命令模塊包含適當(dāng)?shù)碾娫?、帶?/span> 3-1/2“ 數(shù)字 LED 讀數(shù)的數(shù)字面板儀表和高精度電位器。外部 RS-232 或 RS-485 是可選的。

命令模塊前面板上的開關(guān)選擇 LOCAL 或 REMOTE 參考信號，模擬輸出可通過方便的 9 針 D 型連接器訪問。