• 金屬-金屬膜片-閥體密封（無(wú)備用O型環(huán)）
zui大程度抗擴(kuò)散性
• 高純調(diào)壓閥設(shè)計(jì)允許對(duì)調(diào)壓閥真空清潔
• 內(nèi)部體積很小容易清潔并減少污染的可能.
• 膜片密封出口閥保證氣體純度
• 過(guò)濾器捕捉外來(lái)雜質(zhì)，延長(zhǎng)調(diào)壓閥壽命
減少維護(hù)
• 調(diào)壓閥后部的螺紋孔允許前面板安裝

• 1-1/6" NPT內(nèi)螺紋閥帽排氣接口允許
閥帽可以連接到排氣管或處理系統(tǒng)，
在膜片失效時(shí)起到保護(hù)作用。技術(shù)指標(biāo)
zui大入口壓力:
HPD-3: 3000 PSIG
HPD-2: 800 PSIG
HPD-1: 300 PSIG過(guò)濾器: 40 微米
壓力表尺寸: 2" 刻度盤
操作溫度范圍: -40~140°F
流量系數(shù):
調(diào)壓閥: Cv = 0.06內(nèi)部體積:
調(diào)壓閥（本體）: 6.0 cc
閥帽排氣連接: 1⁄16" NPT內(nèi)螺紋
入口連接方式: CGA 296, 320, 326,
346, 350, 510, 540, 580, 590, 或660
，訂貨時(shí)說(shuō)明
出口連接方式: 1/4” NPT內(nèi)螺紋
供壓效應(yīng): 1 psi / 100構(gòu)成材料
本體,閥帽和出口閥:
黃銅棒
壓力表: 黃銅
過(guò)濾器: 燒結(jié)銅
其它接觸氣體材料:
黃銅和不銹鋼
閥 座: PCTFE
摩擦襯套: Teflon®
膜 片:316不銹鋼
出口閥: Cv = 0.17