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行業(yè)產(chǎn)品

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北京北方華瑞自動化科技有限公司


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5400系列金屬密封型質(zhì)量流量計(jì)控制器

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式：王曉林查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2018-05-14 09:00:00瀏覽次數(shù)：1775次

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經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：401條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：王曉林 （銷售經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

【設(shè)計(jì)特點(diǎn)】- 高精度控制，- 全316L結(jié)構(gòu)- 金屬密封 【產(chǎn)地】:日本【產(chǎn)品尺寸圖】

詳細(xì)介紹

【關(guān)聯(lián)產(chǎn)品】

- GFM氣體質(zhì)量流量計(jì)/GFC質(zhì)量流量控制器
- 3200系列高等級質(zhì)量流量控制器
- 3660系列標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器
- D3810系列經(jīng)濟(jì)型質(zhì)量流量計(jì)
- 5100系列金屬密封型質(zhì)量流量計(jì)控制器
【概述/特點(diǎn)】

KOFLOC公司簡介:
日本Kofloc公司是一家專業(yè)制造質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器的廠家,在有廣泛的銷售和應(yīng)用.該公司產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,LCD,燃燒,實(shí)驗(yàn)室分析,生物工藝等場合.
【技術(shù)規(guī)格】 


5400系列金屬密封型質(zhì)量流量計(jì)控制器

經(jīng)濟(jì)型，適用于半導(dǎo)體等行業(yè)，5400是質(zhì)量控制器，5410是質(zhì)量流量計(jì)
流量范圍：10～500SCCM，1～5SLM，10～20SLM
控制閥：常閉，電磁隔膜閥
反應(yīng)時(shí)間：到達(dá)設(shè)定值±2%范圍內(nèi)≤1秒
精度：±1%以內(nèi)
線性：±0.5%以內(nèi)
重復(fù)性：±0.2%以內(nèi)
使用壓差：范圍≤5SLM時(shí)，49～294KPA，5SLM <范圍≤20SLM時(shí)，147～294KPA
壓力限制：980KPA
泄露率：1 × 10–11 Pa?m3/second 或更小
操作溫度：0～50°C
接觸介質(zhì)的材質(zhì)：本體: SUS316L
隔膜：Ni-CO
閥座:PTFE
密封材料:Ni,SUS316L
連接：1/4VCR
電氣連接：9針插座
控制信號：0-5VDC
輸出信號：0-5VDC
電源：5400：+15 VDC (±5%) 100 mA ， –15 VDC (±5%) 200 mA
　　　5410：+15 VDC (±5%) 100 mA ， –15 VDC (±5%) 100 mA

 
如需以上產(chǎn)品幫助，請致電本公司銷售部或技術(shù)部。我們將竭誠為您服務(wù)！　　　　

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