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5100系列金屬密封型質量流量計控制器

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更新時間：2018-05-14 09:00:00瀏覽次數：1483次

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經營模式：生產廠家

商鋪產品：401條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：王曉林 （銷售經理）

產品簡介

： 51292439 傳　　真：?。篵fhr@bf-rae.com

詳細介紹

5100系列金屬密封型質量流量計控制器
：   51292439 
傳　　真：
　：bfhr@bf-rae.com
　

【設計特點】

- 高精度控制，
- 全316L結構
- 金屬密封

【產地】:日本

【產品尺寸圖】
【關聯(lián)產品】

- GFM氣體質量流量計/GFC質量流量控制器
- 3200系列高等級質量流量控制器
- 3660系列標準質量流量控制器
- D3810系列經濟型質量流量計
【概述/特點】

KOFLOC公司簡介:
日本Kofloc公司是一家專業(yè)制造質量流量計/質量流量控制器的廠家,在有廣泛的銷售和應用.該公司產品廣泛應用于半導體,LCD,燃燒,實驗室分析,生物工藝等場合.
【技術規(guī)格】 




多種范圍量程，實現(xiàn)高精度的快速控制
流量范圍：10～500SCCM，1～5SLM，10～20SLM
控制閥：常閉，電磁隔膜閥
反應時間：滿量程2%范圍內≤1.5秒
精度：±1%以內
線性：±0.5%以內
重復性：±0.2%以內
使用壓差：范圍≤5SLM時，49～294KPA，5SLM <范圍≤20SLM時，98～294KPA
壓力限制：980KPA
泄露率：1×10–11 Pa?m3/second 或更小
操作溫度：0～50°C
接觸介質的材質： SUS316L，Au,PTFE
連接：， 1/4VCR,可選1/4SWL
控制信號：0-5VDC
輸出信號：0-5VDC
電源：+15 VDC (±15%) 100 mA ， –15 VDC (±15%) 200 mA
安裝方向：任何方位

 
如需以上產品幫助，請致電本公司銷售部或技術部。我們將竭誠為您服務！　　

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