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產(chǎn)品型號(hào)LDX-SGC-1A

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產(chǎn)品分類品牌分類

通用分析儀器

全部產(chǎn)品列表

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

橢圓偏振測(cè)厚儀橢圓測(cè)厚儀型號(hào)：HAD-SGC-1A
技術(shù)指標(biāo)：
編號(hào)
名稱
參數(shù)
1
測(cè)量范圍
1nm-300nm
2
測(cè)量Z小值
≤1nm
3
入射角
30°～90°誤差≤0.1°
4
偏振器方位角讀數(shù)范圍
0°～180°
5
度盤刻度
每格2度
6

詳情介紹

橢圓偏振測(cè)厚儀橢圓測(cè)厚儀

型號(hào)：LDX-SGC-1A

技術(shù)指標(biāo)：

編號(hào)	名稱	參數(shù)
1	測(cè)量范圍	1nm-300nm
2	測(cè)量Z小值	≤1nm
3	入射角	30°～90°誤差≤0.1°
4	偏振器方位角讀數(shù)范圍	0°～180°
5	度盤刻度	每格2度
6	游標(biāo)Z小讀數(shù)	0.05°
7	光學(xué)中心高度	152mm
8	工作臺(tái)直徑	φ70mm
9	外形尺寸	730mm×230mm×290mm
10	主機(jī)重量	20kg