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勻膠機/旋轉(zhuǎn)涂層機LDX-TA-280Q的說明書

時間:2016-8-15閱讀:244
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產(chǎn)品簡介:

主要用于液體,膠體在材料表面形成薄膜。

適用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷,不銹鋼,金屬等制版表面涂覆工藝。

可在科研,教育,生產(chǎn)中應(yīng)用。

"spin coater " 行業(yè)稱:勻膠機 勻膠臺 甩膠機、旋涂儀 旋轉(zhuǎn)涂膜機 旋涂機

產(chǎn)品型號:

TA-280Q勻膠機  工作主機獨立且可臺面嵌入式安裝,控制器分置。

TA-280Q勻膠機: 工作腔內(nèi)徑D290mm 適合直徑D10mm-280mm園片及 200mmX200mm方形片。

 

主要特點:

*高精度26程序控制器:

可設(shè)定存儲26個不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝過程;

每個涂敷工藝過程可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài);

加速度(及負(fù)加速度),可設(shè)置。

中英文兩套操作系統(tǒng)供選擇。

操作系統(tǒng)內(nèi)駐留涂敷工藝過程模板程序,方便快速調(diào)試并存儲程序。

設(shè)置程序:標(biāo)準(zhǔn)通用符號,6鍵操作,人機交互式對話,提示操作。

無需培訓(xùn),上手就會操作。

*可連接滴膠機,自動控制在必要的瞬間滴膠,自動控制重復(fù)定量滴膠。

的重復(fù)的自動控制操作,是人工不可能及的。

*工作腔可氮氣保護(hù)。

我們設(shè)備通過有效的惰性氣體保護(hù)機構(gòu)設(shè)計,對所有的環(huán)境變量(溫度,濕度,潔凈度)有效控制,

這一點*針對科研實驗的苛刻要求而開發(fā)。

*真空吸片,爪卡機構(gòu)。2種工作狀態(tài)隨意選擇。 爪卡機構(gòu)工作狀態(tài)無需真空泵。方便有空隙的材料及厚重材料涂膠。

*中心結(jié)構(gòu)定位:圓形基片使用工具完成中心定位。方便快捷,定位精度高。

主機標(biāo)準(zhǔn)配備一片真空吸盤即可滿足(TA-280適用3英寸-11英寸基片);(TA-360適用3英寸-14英寸基片)。

小于3英寸可使用定制真空吸盤。

*卡盤,吸盤品種豐富,適應(yīng)各種需要。

*真空吸片系統(tǒng)更安全:

安裝有真空度傳感器,涂敷工作過程電腦實時檢測系統(tǒng)真空度,必須在安全的真空度下,

電機啟動,運行。保障可靠吸片,不飛片。運行中失去真空,系統(tǒng)保護(hù)性停機。

*伺服電機,轉(zhuǎn)速精度更高:300 - 10000 轉(zhuǎn)/分,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:+ - 0.1 % Z高轉(zhuǎn)速10000轉(zhuǎn)/分

*設(shè)備所用的天然聚丙烯(NPP)材質(zhì),食品級衛(wèi)生材料,易清潔,材質(zhì)性能穩(wěn)定,綠色環(huán)保型實驗室的Z佳選擇。

技術(shù)參數(shù):

單相交流電源:220V.50Hz

電機功率:200W

轉(zhuǎn)數(shù):300 - 10000 轉(zhuǎn)/分。

可設(shè)定時間:1---9999秒。

標(biāo)準(zhǔn)包裝:尺寸: 490mm寬 x 400mm深 x 300 mm高 ,

可選配件

1. 特殊真空吸盤
2. 各種卡盤

3. 60升/分無油真空泵

4.滴膠機

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