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橢圓偏振測(cè)厚儀 橢圓測(cè)厚儀
型號(hào)：LDX-SGC-1A
技術(shù)指標(biāo)：
編號(hào) | 名稱 | 參數(shù) |
1 | 測(cè)量范圍 | 1nm-300nm |
2 | 測(cè)量Z小值 | ≤1nm |
3 | 入射角 | 30°～90°誤差≤0.1° |
4 | 偏振器方位角讀數(shù)范圍 | 0°～180° |
5 | 度盤刻度 | 每格2度 |
6 | 游標(biāo)Z小讀數(shù) | 0.05° |
7 | 光學(xué)中心高度 | 152mm |
8 | 工作臺(tái)直徑 | φ70mm |
9 | 外形尺寸 | 730mm×230mm×290mm |
10 | 主機(jī)重量 | 20kg |
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