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擴(kuò)散硅壓力變送器工作原理

時(shí)間:2019/6/20閱讀:3277
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把壓力信號(hào)傳到電子設(shè)備,進(jìn)而在計(jì)算機(jī)顯示壓力
其原理大致是:
將水壓這種壓力的力學(xué)信號(hào) 轉(zhuǎn)變成電流(4-20mA) 這樣的電子信號(hào)
壓力和電壓或電流大小成線性關(guān)系,一般是正比關(guān)系。
所以,變送器輸出的電壓或電流 隨壓力增大而增大。
由此得出一個(gè)壓力和電壓或電流的關(guān)系式:
壓力變送器的被測(cè)介質(zhì)的兩種壓力通入高、低兩壓力室,低壓室壓力采用大氣壓或真空,作用在δ元件(即敏感元件)的兩側(cè)隔離膜片上,通過(guò) 隔離片和元件內(nèi)的填充液傳送到測(cè)量膜片兩側(cè)。壓力變送器是由測(cè)量膜片與兩側(cè)絕緣片上的電極各組成一個(gè)電容器。 當(dāng)兩側(cè)壓力不一致時(shí),致使測(cè)量膜片產(chǎn)生位移,其位移量和壓力差成正比,故兩側(cè)電容量就不等,通過(guò)振蕩和解調(diào)環(huán)節(jié),轉(zhuǎn)換成與壓力成正比的信號(hào)。
擴(kuò)散硅壓力變送器能與各種型號(hào)的動(dòng)圈式指示儀、數(shù)字壓力表、電子電位差計(jì)配套使用,壓力變送器也能與各種自動(dòng)調(diào)節(jié)系統(tǒng)或計(jì)算機(jī)系統(tǒng)配套使用。
工作原理
擴(kuò)散硅壓力變送器通過(guò)壓力傳感器把壓力信號(hào)變?yōu)殡娦盘?hào),再由前置放大器把此電信號(hào)放大濾波,送往CPU的A/D 轉(zhuǎn)換模塊進(jìn)行模擬量到數(shù)字量的變換,后由CPU進(jìn)行數(shù)據(jù)處理并顯示及PWM輸出。原理框圖如下:
被側(cè)介質(zhì)--->傳感器--->電子線路--->輸出信號(hào)
被測(cè)介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的陶瓷/擴(kuò)散硅膜片/上,使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微小位移,正常工作狀態(tài)下,膜片大位移不大于0.025毫米,電子線路檢測(cè)這一位移量后,即把這一位移量轉(zhuǎn)換成對(duì)應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)測(cè)量信號(hào)。超壓時(shí)膜片直接貼到堅(jiān)固的陶瓷基體/擴(kuò)散硅上,由于膜片與基體的間隙只有0.1毫米,因此過(guò)壓時(shí)膜片的大位移只能是0.1毫米,所以從結(jié)構(gòu)上保證了膜片不會(huì)產(chǎn)生過(guò)大變形,該傳感器具有很好的穩(wěn)定性和高可靠性。

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