北京金時(shí)速儀器設(shè)備經(jīng)營(yíng)部
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更新時(shí)間:2016-03-29 09:11:09瀏覽次數(shù):108次
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WJ-100A型微波光電導(dǎo)載流子復(fù)合壽命測(cè)試儀
是參照半導(dǎo)體設(shè)備和材料組織SEMI標(biāo)準(zhǔn)MF1535-0707及國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 26068-2010設(shè)計(jì)制造。
WJ-100A型微波光電導(dǎo)載流子復(fù)合壽命測(cè)試儀
WJ-100A型微波光電導(dǎo)載流子復(fù)合壽命測(cè)試儀是參照半導(dǎo)體設(shè)備和材料組織SEMI標(biāo)準(zhǔn)MF1535-0707及國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 26068-2010設(shè)計(jì)制造。并且我單位是微波反射法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)起草單位之一。本設(shè)備采用微波反射無(wú)接觸光電導(dǎo)衰退測(cè)量方法,適用于厚度為1mm以下的硅片、電池片少數(shù)載流子壽命的測(cè)量,提供無(wú)接觸、無(wú)損傷、數(shù)字顯示的快速測(cè)量。壽命測(cè)量可靈敏地反映半導(dǎo)體重金屬污染及缺陷存在的情況,是半導(dǎo)體質(zhì)量的重要檢測(cè)項(xiàng)目。
壽命測(cè)量范圍:0.25μs-10ms;樣品電阻率下限>0.5Ω·cm。
讀數(shù)方式:數(shù)字直讀。
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