北京金時(shí)速儀器設(shè)備經(jīng)營(yíng)部
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北京金時(shí)速儀器設(shè)備經(jīng)營(yíng)部
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產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地北京市
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更新時(shí)間：2017-03-30 13:50:02瀏覽次數(shù)：1586次
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四探針測(cè)試儀RTS-8
運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的儀器。
RTS-8型四探針測(cè)試儀
恒流源電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔；可連接電腦使用也可以不連接電腦使用，連接電腦使用帶自動(dòng)測(cè)量功能，自動(dòng)選擇適合樣品測(cè)試電流量程；高速并口通訊接口，連接電腦使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電腦的時(shí)間只需要1.5秒（在0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時(shí)）；
RTS-8型數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。
儀器由主機(jī)、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成，測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。
儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快、精度高、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。
RTS-8型四探針測(cè)試儀前面板
RTS-8型四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶程序，通過此測(cè)試程序輔助使用戶簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析。
測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析
技 術(shù) 指 標(biāo) ：
測(cè)量范圍 | 電阻率：10-5～105 Ω.cm(可擴(kuò)展)； |
可測(cè)晶片直徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái))； |
恒流源 | 電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào) |
數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV； |
四探針探頭基本指標(biāo) | 間距：1±0.01mm； |
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) | (見探頭附帶的合格證) |
模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差 | 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 |
整機(jī)測(cè)量zui大相對(duì)誤差 | (用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±5% |
整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 | ≤5% |
測(cè)試模式 | 可連接電腦測(cè)試也可不連接電腦測(cè)試 |
軟件功能（選配） | 軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試數(shù)據(jù)zui大值、zui小值、平均值、zui大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖， 也可把測(cè)試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動(dòng)測(cè)量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測(cè)試。 |
計(jì)算機(jī)通訊接口 | 并口，高速并行采集數(shù)據(jù)，連接電腦使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電腦的時(shí)間只需要1.5 秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時(shí)）。 |
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 | 溫度：23±2℃； |
可配ST-102E 型探針測(cè)試臺(tái)
顯微鏡和 USB 接口 CCD 攝像頭共存的監(jiān)視方式ST-102E 型探針測(cè)試臺(tái)與測(cè)試儀器配接后可用于集成電路芯片及各種晶體管芯的電參數(shù)測(cè)試及功能調(diào)試，適用于科研、新品試制及小批量生產(chǎn)的中間測(cè)試。
技 術(shù) 指 標(biāo) ：
工作臺(tái)面 370mm*245mm
載物臺(tái)直徑 4"
可選二種放大倍數(shù) *14-90 倍連續(xù)變倍；
*17.5-112.5 倍連續(xù)變倍；
監(jiān)視方式 顯微鏡和 USB 接口 CCD 攝像頭共存的監(jiān)視方式
光學(xué)參數(shù) 手輪調(diào)焦范圍：60mm；升降調(diào)焦范圍：200mm；
精密旋轉(zhuǎn)臺(tái) 粗調(diào)范圍：360°；微調(diào)范圍：±10°；zui小刻劃：1°；
銅盤直徑：Φ85mm；絕緣盤直徑：Φ102mm
三維探針座
探針座 X、Y、Z 方向調(diào)節(jié)范圍：±3.25mm，分辨率±2µ；
三維探針座在工作臺(tái)面可任意位置固定，由磁性開關(guān)控制；
zui多可布三維探針座 6 個(gè)；
探針臂伸出長(zhǎng)度：60mm；探針長(zhǎng)度：40mm；
探針 探針材質(zhì)硬質(zhì)合金，針尖曲率半徑 2µm；標(biāo)準(zhǔn)配置：主工作臺(tái)、顯微鏡、USB 接口 CCD 攝像頭、三維微調(diào)座 2 個(gè)、探針臂 2 支、探針 2 支?？蛇x配件：三維微調(diào)架、探針臂、探針、真空泵?？砂从脩舻膶?shí)際需求進(jìn)行訂做。
電動(dòng)臺(tái)
四探針測(cè)試儀RTS-8四探針測(cè)試儀RTS-8
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