PIEZOSYSTEM分辨率定位器TRITOR 100

產(chǎn)品型號：TRITOR 100

產(chǎn)品介紹：

TRITOR 100尺寸為40 x 40 x34 mm，如立方體和每軸100μm的平行XYZ運動范圍，使其成為市場上小尺寸的3D壓電平臺之一。壓電元件TRITOR 100構(gòu)造成立方體，具有頂板和底板。 通孔用于固定定位系統(tǒng)，這對于所有動態(tài)應用都很重要。在頂板上有幾個銷孔和螺紋孔，用于安裝外部組件。三維壓電元件采用可靠的壓電堆疊執(zhí)行器構(gòu)建，具有柔性絕緣，非常適合高動態(tài)負載。三軸壓電定位器TRITOR系列結(jié)合了高剛度和運動直線度，是纖維校準，激光技術和許多其他微定位任務的納米級高精度定位的理想解決方案。

性能特點

高度緊湊的設計帶來更好的性能

平行四邊形設計實現(xiàn)準確的平行運動

固態(tài)鉸鏈帶來高可靠性

沒有機械間隙的運動

nm和小于1nm范圍內(nèi)的高分辨率

運動高達100μm

精密針孔

產(chǎn)品尺寸

尺寸：40 x 40 x 34毫米

產(chǎn)品應用

AFM 和 SFM 顯微鏡

光纖對齊

光束轉(zhuǎn)向/光學技術

半導體技術

參數(shù)：

型號：TRITOR 100

開環(huán)運動（±10％）：100μm

每軸的電容：1.8μF

分辨率：0.2nm

共振頻率x/y/z：500/550/480 Hz

剛度：1/1/1 N/μm

力（max.）生成x/y/z

拉力：10/10/10 N

推力：100/100/100 N

電壓范圍：-20...+130 V

電纜長度：1.2m

尺寸（L×W×H）：40×40×34mm

重量：165g