英國Edwards高真空泵

英國Edwards愛德華從1939年開始制造真空設備直到現(xiàn)在，包含半導體與新興技術、 一般真空產(chǎn)品和服務（售后支持），這些業(yè)務在其所服務的市場上不斷發(fā)展。英國Edwards產(chǎn)品是半導體、平板顯示器、LED 和太陽能電池的制造過程中*的部分，應用于日益多范圍化的工業(yè)過程，包括電力、玻璃和其他涂層應用、鋼和其他冶金、制藥和化學；適用于科學儀器和許多研發(fā)應用。

我們的目標是您的業(yè)務成功。您的Edwards設備的性能可實現(xiàn)這一點，以確保工具正常運行時間，晶圓產(chǎn)量，操作和對環(huán)境的影響小。

捕獲泵技術可為從便攜式質(zhì)譜儀到大型粒子加速器的各種應用創(chuàng)建高真空（HV）和高真空（UHV）環(huán)境。它們可以經(jīng)濟的方式產(chǎn)生盡可能低的真空度。

離子泵

離子泵，也稱為濺射離子泵或離子吸氣泵，是使用陽極/陰極陣列使氣體電離的捕獲泵。離子濺射反應性陰極材料，產(chǎn)生化學反應，將離子化的氣體變成固體化合物。這些化合物不再有助于真空系統(tǒng)的壓力，而是捕獲在離子泵中。離子泵可在10 -5至10 -12 mbar的壓力下運行，大小范圍為0.2至1,200 l / s的氮氣。

鈦熱升華泵

TSP的工作方式是加熱鈦絲并將鈦分子升華（從固相轉(zhuǎn)變?yōu)闅庀啵┑奖砻嫔稀Ｈ缓罂梢詫⑸A的鈦分子與反應性氣體（例如氧氣和氮氣）進行化學反應，并解離并擴散氫。TSP可以在10 -5到10 -12 mbar之間運行，抽速超過10,000 l / s的氫氣。

不可蒸發(fā)的吸氣泵

NEG是已被壓在固體基材上或燒結(jié)成圓盤的活性金屬。已發(fā)現(xiàn)鋯，釩和鐵的特定組合適合于HV和UHV環(huán)境。所使用的材料量控制著NEG泵的速度和容量，但通常范圍為55至412 l / s，容量為630至3600 Torr l / s。當NEG充滿氣體時，可以重新激活它們而無需排入大氣。

高真空泵的主要特點

消除機械振動

捕獲泵沒有活動部件。消除了運動部件產(chǎn)生的振動和電氣噪聲

高輻射耐受性

捕獲泵由耐輻射材料超過108 Gray制成。連接器和電纜還采用耐輻射材料制成，可連續(xù)運行多年

耐高溫

無需特別考慮，捕獲泵可以烘烤至250°C。取下磁體可使高溫烘烤達到450°C。長時間熱烘烤對于每個特高壓系統(tǒng)都至關重要

消除了定期維護

捕獲泵幾乎不需要維護，并且避免了昂貴的真空事件，因為它們與大氣隔絕，節(jié)省了時間和資源

初期運營成本低

初始成本通常低于其他類型真空泵的可比規(guī)格。多年來低成本運行，它們消耗的功率很少或沒有功率

 天津西納貿(mào)易有限公司由熟悉歐洲工業(yè)體系和精通營銷的海外歸國團隊于2012年創(chuàng)辦。通過多年的海外蟄伏，我們在歐洲建立了以德國為 的龐大而成熟的渠道體系，為西納在中國的長足發(fā)展提供了良好的 和外部支持。為客戶解決一切產(chǎn)品需求；為客戶降低采購風險和成本；為客戶提高采購效率和保障；為客戶提供高品質(zhì) 托管式供貨服務是我們永遠的追求！