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行業(yè)產(chǎn)品

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北京東方中科集成科技股份有限公司


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FT150系列 高性能X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x

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產(chǎn)品型號(hào)

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更新時(shí)間:2024-03-01 12:18:54瀏覽次數(shù):185次

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商鋪產(chǎn)品:1496條

所在地區(qū):北京北京市

聯(lián)系人:東方集成 (市場(chǎng)推廣)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

可對(duì)不斷微型化的電子部件鍍膜厚度進(jìn)行快速、安全的簡(jiǎn)便的測(cè)量。為了便于在樣本室中使用并確認(rèn)需要測(cè)量的位置,該儀器還采用了全新的設(shè)計(jì)。

詳細(xì)介紹

使用新開(kāi)發(fā)的X射線聚光用多毛細(xì)管的產(chǎn)品陣容誕生了。另外,以X射線檢測(cè)結(jié)構(gòu)為中心,對(duì)各類元件進(jìn)行優(yōu)化,從而大幅提高了檢測(cè)靈敏度,在不損失檢測(cè)精度的前提下實(shí)現(xiàn)了的高處理能力。并且,對(duì)設(shè)備進(jìn)行了重新設(shè)計(jì),使得樣本室的使用,以及對(duì)檢測(cè)點(diǎn)的檢查變得更為容易。

X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x FT150系列 特長(zhǎng)


1.顯微領(lǐng)域的高精度檢測(cè)


通過(guò)采用新開(kāi)發(fā)的多毛細(xì)管,以及對(duì)探測(cè)器的優(yōu)化,在實(shí)現(xiàn)照射半徑等同于舊有型號(hào)FT9500X為30 μm(設(shè)想FWHM: 17 μm)的基礎(chǔ)上,進(jìn)一步將處理能力提高到了2倍以上。


2.產(chǎn)品陣容適應(yīng)各類檢測(cè)樣本


針對(duì)檢測(cè)樣本的不同種類,可在下列3種型號(hào)中進(jìn)行選擇。


  • 測(cè)量引線架、連接器等各類電子元器件的微型部件、超薄薄膜的型號(hào)
  • 能夠處理尺寸為600 mm×600 mm的大型印刷電路板的大型印刷電路板用型號(hào)
  • 適合對(duì)陶瓷芯片電極部分中,過(guò)去難以同時(shí)測(cè)量的Sn/Ni兩層進(jìn)行高能測(cè)量的型號(hào)

3.兼顧易操作性與安全性


放大了開(kāi)口,同時(shí)樣本室的門(mén)也可單手輕松開(kāi)閉。從而提高了取出、放入檢測(cè)樣本的操作簡(jiǎn)便性,并且該密封結(jié)構(gòu)也大大減少了X射線泄漏的風(fēng)險(xiǎn),讓用戶放心使用。


4.檢測(cè)部位可見(jiàn)


通過(guò)設(shè)置大型觀察窗、修改部件布局,使得樣本室門(mén)在關(guān)閉狀態(tài)下亦可方便地觀察檢測(cè)部位。


5.清晰的樣本圖像


使用了分辨率比以往更高的樣本觀察攝像頭,采用全數(shù)碼變焦,從而消除位置偏差,可以清晰地觀察數(shù)十μm的微小樣本。

另外,亦采用LED作為樣本觀察燈,無(wú)需像以往的機(jī)型那樣對(duì)燈泡進(jìn)行更換。


6.新GUI


  • 將各類檢測(cè)方法、檢測(cè)樣本都以應(yīng)用程序圖標(biāo)的形式進(jìn)行了登記。圖標(biāo)皆為檢測(cè)樣本的照片、多層膜的圖示等,因此登記、整理起來(lái)就很方便,從而使得用戶可以不走彎路,直接進(jìn)行檢測(cè)。
  • 使用檢測(cè)向?qū)Т翱趤?lái)指導(dǎo)操作。通過(guò)與檢測(cè)畫(huà)面聯(lián)動(dòng),逐步引導(dǎo)用戶執(zhí)行當(dāng)前所需進(jìn)行的工作。

從左邊開(kāi)始、啟動(dòng)畫(huà)面・易于操作的開(kāi)口部・大開(kāi)口的樣本室門(mén)・高靈敏度(Au光譜圖示)


X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x FT150系列 規(guī)格


型號(hào)FT150(標(biāo)準(zhǔn)型)FT150h(高能量型)FT150L(大型線路板對(duì)應(yīng))
測(cè)量元素原子序數(shù)13(Al)~92(U)
X射線源管電壓:45 kV
Mo靶W靶Mo靶
檢測(cè)器Si半導(dǎo)體檢測(cè)器(SDD)(無(wú)需液氮)
X射線聚光聚光導(dǎo)管方式
樣品觀察CCD攝像頭(100萬(wàn)像素)
對(duì)焦激光對(duì)焦、自動(dòng)對(duì)焦
樣品尺寸400(W) × 300(D) × 100(H) mm400(W) × 300(D) × 100(H) mm600(W) × 600(D) × 20(H) mm
工作臺(tái)行程400(W) × 300(D) mm400(W) × 300(D) mm300(W) × 300(D) mm
操作系統(tǒng)電腦、22英寸液晶顯示屏
測(cè)量軟件薄膜FP法(最多5層膜、10元素)、檢量線法、定性分析
數(shù)據(jù)處理Microsoft Excel、Microsoft Word 安裝
安全功能樣品門(mén)聯(lián)鎖
消耗電量300 VA以下

選購(gòu)項(xiàng)


  • 能譜匹配軟件(材料辨別)
  • 塊體FP(測(cè)量金屬成分比)
  • 樣品操作限制設(shè)置
  • 晶圓治具(FT150/FT150h)
  • 觸摸板
  • 信號(hào)燈
  • 打印機(jī)
  • 緊急停止開(kāi)關(guān)箱


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