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F系列質(zhì)量流量計(jì)僅用于測(cè)量氣體的質(zhì)量流量

閱讀:2086      發(fā)布時(shí)間:2017-7-21
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     F系列質(zhì)量流量計(jì)僅用于測(cè)量氣體的質(zhì)量流量。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。  
    F系列質(zhì)量流量計(jì)用于測(cè)量氣體的質(zhì)量流量,其測(cè)量值不因壓力或溫度的波動(dòng)而失準(zhǔn),不需要進(jìn)行壓力和溫度修正。對(duì)于一般的體積流量計(jì)(如轉(zhuǎn)子流量計(jì)),在相同的體積流量指示下,當(dāng)壓力、溫度改變時(shí),其實(shí)際克分子流量會(huì)發(fā)生較大變化,而F系列質(zhì)量流量計(jì)則基本不受影響。  
    質(zhì)量流量控制器不僅能測(cè)量氣體的流量,具備流量計(jì)的功能,而且它還能控制流量,它本身具有檢測(cè)控制電路和流量調(diào)節(jié)閥,是一個(gè)閉環(huán)控制單元。用戶可以根據(jù)需要在量程范圍內(nèi)任意給定流量設(shè)定值,mfc會(huì)自動(dòng)跟蹤設(shè)定值而改變流量并穩(wěn)定在設(shè)定值上。如果希望定量地獲得流量,要求流量保持恒定或根據(jù)需要而動(dòng)態(tài)改變,或需要自動(dòng)測(cè)量 和控制流量,則質(zhì)量流量控制器是Z佳的選擇。  
    氣體質(zhì)量流量通常用標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量來(lái)表示,質(zhì)量流量單位規(guī)定為:sccm---標(biāo)準(zhǔn)毫升/分,slm---標(biāo)準(zhǔn)升/分標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)指:溫度—0℃,氣壓—101325pa(760mmhg)。因?yàn)樵跇?biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下,氣體的密度是一個(gè)常數(shù),密度乘以體積流量就等于質(zhì)量流量,所以標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。F系列質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器在使用過(guò)程中,無(wú)論工作氣體的溫度、壓力如何變化,它所顯示的流量總是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量。這是F系列質(zhì)量流量計(jì)的主要優(yōu)點(diǎn)。

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