SUNX晶圓校準(zhǔn)傳感器重要參數(shù)HD-T1030

特點(diǎn)

無需任何安全措施

施工簡便

低消耗電流70mA以下

高分辨率30μm

無需光軸調(diào)整

配備系數(shù)和偏移量調(diào)整功能

技術(shù)參數(shù)

檢測頭

檢測寬度    30mm(直線性按照28mm的寬度規(guī)定)

檢測距離    30mm(固定)(注2)

環(huán)境性能  保護(hù)構(gòu)造  IP40(IEC)

       使用環(huán)境溫度   0～+40℃(注意不可結(jié)露)，存儲時：-20～+55℃

       使用環(huán)境濕度 35～85%RH、存儲時：35～85%RH

       使用環(huán)境照明度 白熾燈：受光面照明度3,000lx以下、熒光燈：受光面照明度3,000lx以下

       耐電壓 AC1,000V 1分鐘　所有電源連接端子與外殼之間

       緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表

              耐振動 頻率10～150Hz　雙振幅0.75mm　X,Y和Z方向各2小時

       耐沖擊 加速度490m/s²(約50G)　X,Y和Z方向各3

投光元件 紅色LED(投光波峰波長：650nm)

受光元件 光電二極管

材質(zhì)    本體外殼：PEI、前罩部：玻璃、安裝基座：鋁

電纜     耐熱PVC電纜0.5m末端帶連接器

(注2)： 出廠時固定于安裝基座狀態(tài)下的值。

控制器

電源電壓 24V DC±10%　脈動P-P10%以下

消耗電流 70mA以下(含檢測頭)

模擬輸出        模擬電壓

              ?輸出電壓：1±0.5V(全遮光時)～5±0.5V(全入光時)

              ?輸出阻抗：75Ω

量程調(diào)整功能 裝備15圈無限制調(diào)節(jié)器，可調(diào)整模擬輸出電壓的量程

轉(zhuǎn)移調(diào)整功能 裝備15圈無限制調(diào)節(jié)器，可調(diào)整模擬輸出電壓的偏置

預(yù)熱時間 30分以上

反應(yīng)時間 0.5ms以下(8V/ms以上)

分辨率    30μm(注2)

直線性    ±1.0%F.S.(檢測位置的檢測寬度28mm)(注3)

溫度特性 ±0.1%F.S./℃(24±2℃) (注3)

(注2)： 分辨率為模擬輸出的峰值～峰值距離換算值(20MHz以下帶域)。

(注3)： 檢測頭和控制器組合后測定時的代表示例。

SUNX晶圓校準(zhǔn)傳感器重要參數(shù)HD-T1030