PANASONIC晶圓定位傳感器主要作用M-DW1

技術(shù)參數(shù)

測量距離 45mm

檢測物體 3英寸以上的半導體晶圓(注2)

可對應檢測面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3)

檢測角度 12.5±5°(注4)

晶圓間距 間距3mm以上時，可按通常靈敏度進行分離檢測(注5)

環(huán)境性能 保護構(gòu)造  IP20(IEC)

        使用環(huán)境溫度 0?＋55℃(注意不可結(jié)露)、存儲時：−10?＋70℃

        使用環(huán)境濕度 35?85%RH、存儲時： 35?85%RH

        使用環(huán)境照明度 白熾燈：受光面照明度3,000lx以下、熒光燈：受光面照明度1,500lx以下

        耐電壓 AC1,000V 1分鐘　所有電源連接端子與外殼之間

        緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表

        耐振動 頻率10?500Hz　雙振幅3mm　X,Y和Z方向各2小時

        耐沖擊 耐久98m/s²(約10G) XYZ方向各5回

適用晶圓盒 SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒

電源電壓 12?24V DC±10%　脈動P-P10%以下

消耗電流 65mA以下

靈敏度切換輸入 信號條件

                ?輸入OFF：斷開或4?8V

                ?輸入ON ：0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)

靈敏度設(shè)定 背面教導：按本體靈敏度設(shè)定按鈕運行

                檢測靈敏度切換：本體開關(guān)2bit、4或外部輸入的2選擇式

投光元件 LED(調(diào)制式)

材質(zhì) 外殼：ABS及SUS301、透鏡： 丙烯

輸出動作 可用切換開關(guān)選擇入光時ON/非入光時ON

短路保護 裝備(自動復位)

反應時間          500μs以下

工作狀態(tài)指示燈 橙色LED(輸出ON時亮起)

穩(wěn)定指示燈 綠色LED(穩(wěn)定入光時、穩(wěn)定非入光時亮起點燈)

定時器功能 裝備約2ms固定斷開延遲定時器　有效/無效切換式

投光停止輸入 信號條件

                ?投光停止：斷開或4?8V

                ?投光：0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)

(注2)：檢測8英寸以下的晶圓時，可能會因晶圓間距、定位邊或表面的狀態(tài)而影響檢測。
(注3)：對于經(jīng)研磨后厚度變薄的晶圓，如果其端面呈刀刃狀，可能會因光線不能從檢測面向受光方向反射而難以檢測。
(注4)：晶圓旋轉(zhuǎn)時，定位邊的大跳動角度約為±20°。
(注5)：斜向插入8英寸晶圓時的附近的間距。檢測帶定位邊的晶圓時，對于避開定位邊的檢測位置，晶圓間距變得更窄，檢測信號無法分解，變?yōu)檫B續(xù)的寬幅信號。

PANASONIC晶圓定位傳感器主要作用M-DW1