集成電路照排平臺(tái)高精度定位電渦流位移傳感器
在關(guān)鍵的Z軸高度調(diào)整中，支撐圓晶片的平臺(tái)必須非常精確地處于焦點(diǎn)平面（次原子級(jí)）。凱盟系統(tǒng)精確測(cè)量Z軸平臺(tái)的位置（如圖）并輸出模擬信號(hào)（或可選的數(shù)字接口）。此傳感器的高精度、重復(fù)性和分辨率可讓用戶在平臺(tái)定位和聚焦上形成閉環(huán)。用凱盟公司15N傳感器頭和前置器SMU9000組成。
主要指標(biāo)：
測(cè)量對(duì)象：鋁
量程起點(diǎn)：0.25mm
量程：25µm
非線性：±1％
分辨率：<25x10^-11M
靈敏度：0.4V/µm
電源：+12～+30V，15MA/每通道
頻響：0－10KHZ
輸出：0-10V
溫漂：<0.5µm/℃
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