氦質(zhì)譜檢漏法是根據(jù)質(zhì)譜分析的原理，以氦作探索氣體，對各種需密封的容器的漏隙進行快速定位和定量檢測的理想的方法。因氦是隋性氣體，對大氣無污染，使用安全；氦原子量小、粘度小，易滲透過任何可能存在的漏率，檢測靈敏度高、速度快、適用范圍廣；加之氦在大氣中含量少（僅萬分之五），離子質(zhì)量與其它氣體離子質(zhì)量相差很大，不易受干擾，不會錯判。與當今諸多檢漏方法（如氣泡法、鹵素檢漏法等）相比，它是*。性能指標：
氦質(zhì)譜檢漏儀對比
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型 號 小可檢漏率Pa.m3/s
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HG94-ZQLS-23B 2·10-11
HG94-ZQLS-24B 2·10-11
HG94-ZQLS-24C 2·10-11
HG94-ZQLS-26D/T 5·10-12
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型 號 反應(yīng)（清除）時間 s
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HG94-ZQLS-23B ＜3
HG94-ZQLS-24B ＜3
HG94-ZQLS-24C ＜3
HG94-ZQLS-26D/T ＜3
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型 號 讀數(shù)方式
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HG94-ZQLS-23B 表頭（mV）
HG94-ZQLS-24B 表頭和數(shù)字（量程自動切換）
HG94-ZQLS-24C 表頭和數(shù)字（量程自動切換）
HG94-ZQLS-26D/T 數(shù)字直讀
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型 號 特 點
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HG94-ZQLS-23B 單主機，帶標準漏空
HG94-ZQLS-24B 帶一套粗抽系統(tǒng)（泵2XZ-4B），配有一只校準漏孔
HG94-ZQLS-24C 帶二套粗抽系統(tǒng)，適用于批量檢漏，配有一只校準漏孔
HG94-ZQLS-26D/T 渦輪分子泵（德國萊寶50型）前級泵
（日本GLD030）粗抽泵（英國
EDWARDERV12），配有一只校準漏孔
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