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射頻CCP薄膜沉積

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)HG07-DP系列

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地北京市

聯(lián)系方式：蔣工查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2016-08-30 15:40:00瀏覽次數(shù)：338次

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適合大學(xué)物理、材料、化學(xué)等領(lǐng)域的學(xué)生實(shí)驗(yàn)及教師科學(xué)研究。

產(chǎn)品名稱：射頻CCP薄膜沉積
產(chǎn)品型號(hào): HG07-DP系列
產(chǎn)品編號(hào): 28308

射頻CCP薄膜沉積   的詳細(xì)介紹

適合大學(xué)物理、材料、化學(xué)等領(lǐng)域的學(xué)生實(shí)驗(yàn)及教師科學(xué)研究。

設(shè)備規(guī)格配置：

 

1

2

3

沉積室

玻璃真空室

不銹鋼真空室

射頻功率源

13.56MHz，功率:500W

 

射頻耦合方式

Φ60mm單圈環(huán)形電感

真空系統(tǒng)

機(jī)械泵

機(jī)械泵+擴(kuò)散泵

機(jī)械泵+分子泵

極限真空

6.7×10-1Pa

5×10 -4Pa

8×10-5Pa     

恢復(fù)真空

2Pa

5×10-3Pa

8×10-4Pa

進(jìn)氣系統(tǒng)

三路轉(zhuǎn)子流量計(jì)或三路質(zhì)量流量計(jì)

襯底溫度

室溫至300℃可調(diào)可控；

真空測量

數(shù)顯電阻真空計(jì)

數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)

數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)

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