四探針電阻率測試儀是用來測量硅晶塊、晶片、碎片料、米粒料、頭尾料、堝底料、邊皮料等材料方塊電阻的小型儀器。是生產(chǎn)線上大批量選料的理想儀器，具有簡便的比較功能，操作方便。 本儀器按照半導(dǎo)體材料電阻率的及國家標(biāo)準(zhǔn)測試方法有關(guān)規(guī)定設(shè)計，它主要由電器測量部分（主機(jī)）及四探針探頭組成。樣品測試電流由高精度的恒流源提供，隨時可進(jìn)行校準(zhǔn)，以確保電阻率測量的準(zhǔn)確度。對0.1～29.9Ω*cm標(biāo)準(zhǔn)樣片的測量誤差不超過±5%。

（1）測量范圍：
可測量電阻率：0.1～29.9Ω*cm。
可測方塊電阻： 1～299Ω/口
大電阻測量誤差（按JJG508-87進(jìn)行）：0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±5%
適合測量各種厚度的硅片，可測晶片直徑（大）
圓形Ф100mm ，方形230×220mm。
（2）恒流源：
輸出電流：0.01～1mA連續(xù)可調(diào)，
誤差≤±0.5%。
恒流精度：各檔均優(yōu)于±0.1%
（3）直流數(shù)字電壓表：
測量范圍：0.1～199.9mv
靈敏度：100μv
準(zhǔn)確度：0.2%（±2個字）
（4）供電電源：
AC：220V ±10%（保護(hù)隔離） 50/60HZ
功率2W
（5）四探針探頭；
A.材持：鎢鋼探針
b.間距：1±0.01mm
c.針尖絕緣電阻：≥100mΩ
d.機(jī)械游移率：≤1.0%
e.探針壓力：12-16牛頓（總力）
（6） 使用環(huán)境：
環(huán)境溫度：-40～50℃，
相對濕度：≤80%，無較強的電場干擾，無強光直接照射。
（7）使用方法：
a. 使用儀器前將電源線、測試筆聯(lián)接線與主機(jī)聯(lián)接好，電源線插頭插入220V座插后，開啟背板上的電源開關(guān)，此時前面板上的數(shù)字表、發(fā)光二極管都會亮起來。探針頭壓在被測單晶上，右邊的表顯示從1---4探針流入單晶的測量電流，左邊的表顯示電阻率或2、3探針間的電位差。電流大小通過旋轉(zhuǎn)前面板右上方的電位器旋鈕加以調(diào)節(jié)。
b. 校準(zhǔn)設(shè)備：厚度小于3.98mm的（本公司提供厚度小于3.98mm的標(biāo)準(zhǔn)電流修正系數(shù)表）取與要備測試硅材料厚度相同的硅材料標(biāo)準(zhǔn)樣塊校準(zhǔn)電阻率測試儀，測試厚度大于3.98mm的硅材料可取厚度大于3.98mm的任一標(biāo)準(zhǔn)樣塊校準(zhǔn)電阻率測試儀。
c. 測試：用四探針接觸硅材料，以探針壓下三分之二為準(zhǔn)，待儀器顯示數(shù)字穩(wěn)定即可。