本儀器按照半導(dǎo)體材料電阻率的及國家標準測試方法有關(guān)規(guī)定設(shè)計，它主要由電器測量部份（主機）及四探針探頭組成。樣品測試電流由高精寬的恒流源提供，隨時可進行校準，以確保電阻率測量的準確度。
主要技術(shù)指標: 。
對0.1～199.9Ω*cm標準樣片的測量誤差不超過±0.1。
（1）測量范圍：可測量電阻率：0.1～199.9Ω*cm。
可測方塊電阻： 1～1999Ω/口
大電阻測量誤差（按JJG508-87進行）：
0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±5%
適合測量各種厚度的硅片，可測晶片直徑（大）
園形Ф100mm 方形230×220mm
（2）恒流源：
輸出電流：0.01～1mA連續(xù)可調(diào)，誤差≦±0.5%。恒流精度：各檔均優(yōu)于±0.1%
（3）直流數(shù)字電壓表
測量范圍：0.1～199.9mv 靈敏度：100μv 準確度：0.2%（±2個字）
當沒有測量時，表上數(shù)字不歸零屬于正常，是其自身處于自動掃描狀態(tài)
（4）供電電源：AC： 220V ±10%（保護隔離） 50/60HZ 功率2W
（5）四探針探頭： a.鎢鋼探針或高速鋼探針 b.間距1±0.01mm
c.針尖絕緣電阻≥100mΩ d.機械游移率≦1.0% e.探針壓力 12-16牛頓（總力）
（6）使用環(huán)境：
溫度23±2℃，相對濕度≤80% 無較強的電場干擾 無強光直接照射
（7）使用方法；
a. 使用儀器前將電源線、測試筆聯(lián)接線與主機聯(lián)接好，電源線插頭插入～220V座插后，開啟背板上的電源開關(guān)，此時前面板上的數(shù)字表、發(fā)光二極管都會亮起來。探針頭壓在被測單晶上，右邊的表顯示從1、4探針流入單晶的測量電流，左邊的表顯示電阻率或2、3探針間的電位差。電流大小通過旋轉(zhuǎn)前面板右上方的電位器旋鈕加以調(diào)節(jié)
b. 校準設(shè)備：厚度小于3.98mm的（本公司提供厚度小于3.98mm的標準電流修正系數(shù)表）取與要備測試硅材料厚度相同的硅材料標準樣塊校準電阻率測試儀，測試厚度大于3.98mm的硅材料可取厚度大于3.98mm的任一標準樣塊校準電阻率測試儀。
c.測試: 用四探針接觸硅材料，以探針壓下三分之二為準，待儀器顯示數(shù)字穩(wěn)定即可.
d． 校驗：在測試過程中要求每隔2小時用標準樣塊校準一次設(shè)備
一般情況下,除了信號傳輸線的斷裂引起的故障外, 針的維護主要包括針頭的更換和針頭的清理清潔工作。
維護后的安裝及維護過程中,必須注意安裝過程中的排線位置,按綠紅黃黑（1234）位置排列。