儀器特點(diǎn)

1 非接觸式測(cè)量，用光纖探頭來接收反射光，不會(huì)破壞和污染薄膜；

2 測(cè)量速度快，測(cè)量時(shí)間為秒的量級(jí)；

3 可用來測(cè)薄膜厚度，也可用來測(cè)量薄膜的折射率n和消光吸收k；

4 可測(cè)單層薄膜，還可測(cè)多層膜系；

5 可廣泛應(yīng)用于各種介質(zhì)，半導(dǎo)體，液晶等透明半透明薄膜材料；

6 軟件的材料庫(kù)中整合了大量材料的折射率和消光系數(shù)，可供用戶參考；

7 內(nèi)嵌微型光纖光譜儀，結(jié)構(gòu)緊湊, 光纖光譜儀也可單獨(dú)使用。
儀器成套性

測(cè)厚儀主體（內(nèi)含光源和光纖光譜儀），光纖跳線，光纖探頭，標(biāo)準(zhǔn)硅片，支撐部件，配套軟件

可擴(kuò)展性

通過光纖連接帶有C口的顯微鏡，就可以使本測(cè)量?jī)x適用于微區(qū)（>10um）薄膜厚度的測(cè)量。



強(qiáng)大的軟件功能

界面友好，操作簡(jiǎn)便；

可保存測(cè)量得到的反射譜；

可讀取保存的反射率數(shù)據(jù)；

可選擇是否測(cè)量折射率n，消光系數(shù)k；

可選擇光譜范圍；

可猜測(cè)薄膜厚度以節(jié)省測(cè)量時(shí)間；

可從大量的材料庫(kù)中選擇薄膜和基底的材料；

用戶可自己擴(kuò)充材料庫(kù)。