半導體電阻率型號綜合測試儀是于各種半導體材料包括片狀硅料、硅晶體等的型號和電阻率測定的設備,測定范圍:0.01-199Ωcm，是生產(chǎn)廠家硅料分選測試的理想工具。
1、 電阻率主要技術指標:
可測晶片直徑（大）Ф100mm,方形230×220mm
恒流源：電流量程為0.01～1mA連續(xù)可調(diào)，誤差≦±0.5%。
數(shù)字電壓表：量程：0.1～200mV,大分辨率：100μV
電阻率顯示：三位半數(shù)字顯示：小數(shù)點、極性、過載、自動顯示0.01-199.99歐姆。厘米
輸入抗阻：0.2mV和2mV量程：＞108Ω
測量精度：±0.1。
大電阻測量誤差（按JJG508-87進行）：0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±5%讀數(shù)±2個字。
重摻檢測誤差（JJG508-87進行）：1Ω≤±1%、0.5Ω≤±0.5%、0.1Ω≤±0.1%
測量環(huán)境：溫度23±2℃，相對濕度≤65%
2、操作程序：
1、首先連好電源，打開后面板電源開關，電源指示燈亮，表示待機完畢。
2、校準設備：厚度小于3.98mm取與要備測試硅材料厚度相同的硅材料標準樣塊校準電阻率測試儀，測試厚度大于3.98mm的硅材料可取厚度大于3.98mm的任一標準樣塊校準電阻率測試儀
3、測試：用四探針接觸硅材料，以探針壓下三分之二為準，待儀器顯示數(shù)字穩(wěn)定即可，
4校驗：在測試過程中要求2小時用標準樣塊校準一次設備，
3、 針組件;維護及注意事項:
1、一般情況下,除了信號傳輸線的斷裂引起的故障外, 針的維護主要包括針頭的更換和針頭 的 清理清潔工作
2、維護后的安裝及維護過程中,必須注意安裝過程中的排線位置,按綠紅黃黑（1234）位置排列。
P/N型號判別功能:
1． 精確判別半導體硅材料導電類型（P/N）；
2． 準確判定電阻率為0.1Ω.cm和0.5Ω.cm以下的重摻硅料；

使用與操作說明：
1. 面板功能
儀器面板主要電流電壓表，導電類型字符（P/N）數(shù)碼顯示，重摻檔位選擇開關及其聲訊指示，電源指示和探測信號輸入輸出組件。
2. 操作步驟
首先連接好電源，打開后面板電源開關，紅色指示燈顯示，表示待機完畢。接著進行重摻檔位設定：如果選擇開關設置I檔表示檢測硅料電阻率為0.1Ω.cm以下的重摻；以重摻樣塊檢測，此時紅色指示燈應點亮，同時蜂鳴報警指示。如果選擇開關設置于Ⅱ檔表示檢測硅料電阻率為0.5Ω.cm以下的重摻；以重摻樣塊檢測，此時紅色指示燈應點亮，同時蜂鳴器報警指示。
3. 功能識別
本儀器采用的電流電壓表為雙電流指示型，既可以直觀的指示待測硅料型號，又可以對其電阻率大小進行錯率的界定。
指針左傾為負，表示導電類型為N型，指針右傾為正，表示導電類型為P型。
指針擺動的幅度表示待測硅料的電導率，幅度越大，表示電導率越高，也即電阻率越低，本儀器已設定，當指針擺動幅度超過±3以上，表示電阻率小于5Ω.cm。
4. 注意事項
在判別過程中測試速度和頻次不宜過高，同時盡量保持探頭與料塊垂直，以探針良好接觸料塊后的穩(wěn)定顯示字符為準，同時可輔以觀察電流表指針傾向判定。