1、 使用幾何尺寸十分精確的紅寶石軸套，確保探針間距的恒定、準(zhǔn)確。
2、 控制寶石內(nèi)孔與探針之間的縫隙不大于6μｍ，保證探針的小游移率。
3、 采用特制的S型懸臂式彈簧，使每根探針都具有獨(dú)立、準(zhǔn)確的壓力。
4、 量具精度的硬質(zhì)合金探針，在寶石導(dǎo)孔內(nèi)穩(wěn)定運(yùn)動(dòng)，持久耐磨。
用途
1、 測(cè)量硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率，測(cè)定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻。
2、 測(cè)量導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻。
探針間距
1、 直線四探針…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm
2、 方形四探針…………… 1.00mm
3、 直線三探針…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm
4、 兩探針 …………… 1.00mm、1.59mm、4.76mm、10.00mm
技術(shù)指標(biāo)
1、 游移率
B級(jí)…………… ＜0.5%
*……………＜0.3%
A*………… ＜0.2%
AA*…………＜0.1%
2、 間距偏差
B級(jí)…………… ＜3%
*…………… ＜2%
A*………… ＜2%
AA*………… ＜1%
3、 大針與導(dǎo)孔間隙：0.006mm
4、 探針材料：硬質(zhì)合金（主成份：進(jìn)口碳化鎢）或高速鋼
5、 探針壓力 標(biāo)準(zhǔn)壓力：6—10N（4根針總壓力）
小壓力：1.2—5N（4根針總壓力）
1牛頓（N）=101.97克
6、 針尖壓痕直徑：25—100μｍ、100—250μｍ（簿層）
7、 500V絕緣電阻：＞1000MΩ